Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Influence of gold electrodes on the properties of shear horizontal acoustic plate mode viscosity sensor in Bt-cut quartz

Soluch W., Łysakowska M., Wróbel T.

Materiały Elektroniczne

|

2017

|

T. 45, nr 2-4

3--5

EN

Until now the influence of gold electrodes on the properties of shear horizontal acoustic plate modes (SHAPMs) in BT-cut quartz (-50.5°YX90°) was never before calculated or measured. Calculation presented in this study show that the amplitude of mechanical motion at the quartz plate surface decreases with an increase of the thickness of the gold layer. When the thickness of the gold layer is increased only on one side of the quartz plate, the amplitude decreases on the same side, whereas it remaines unchanged on the opposite side. For one of the SHAPMs, the amplitude of mechanical motion become about twice as big when the gold layer thickness increased from about 0.1 μm to 1 μm. This effect was confirmed by the measurements of the changes of the delay line insertion loss against viscosity of glycerine and water solutions.

PL

Po raz pierwszy wykonano obliczenia i pomiary wpływu złotych elektrod na właściwości czujnika lepkości z poprzecznym horyzontalnym akustycznym modem płytowym (PHaMP) w kwarcu o orientacji BT (-50.5°YX90°). stwierdzono, że amplituda drgań mechanicznych na powierzchni płytki kwarcowej maleje wraz ze wzrostem grubości warstwy złota. Gdy grubość warstwy złota wzrasta po jednej stronie płytki kwarcowej, to zmniejszanie ma miejsce po tej samej stronie, podczas gdy pozostaje niezmienione po stronie przeciwnej. Dla jednego z PHaMP, amplituda drgań mechanicznych zmalała dwa razy gdy grubość warstwy złota wzrosła od 0,1 μm do 1 μm. Efekt ten został potwierdzony przez pomiar zmian tłumienności linii opóźniającej w funkcji lepkości roztworów gliceryny i wody.

2

Viscosity sensor with shear-horizontal acoustic plate mode on BT-cut quartz and surface acoustic wave filter for mode selection

Soluch W., Wróbel T.

Materiały Elektroniczne

|

2016

|

T. 44, nr 4

4--7

EN

Shear horizontal acoustic plate mode (shaPM) liquid viscosity sensor with the surface acoustic wave (saW) filter for a chosen shaPM selection was developed. a turnover temperature and a quadratic temperature coefficient of frequency of about 0°C and −25 ppb/(°C)2, respectively, were obtained for a delay line on BT-cut quartz (−50.5°YX90°), with gold electrodes. An acoustically coupled resonator filter for a SHAPM selection was designed and fabricatedon the 38°YX cut quartz. With inductive coils of about 0.5 μH connected in series with a 50 Ω load, the measured IL of about 2 dB at a center frequency of about 100.4 MHz was obtained for the filter. For a SHAPM delay line with the filter, insertion loss, turnover temperature, and quadratic temperature coefficient of frequency of about 12 dB, 5°C, and −30 ppb/(°C)2, respectively, were obtained. Insertion loss and frequency changes against product of mass density and viscosity were measured, using water and glycerin solutions. Insertion loss, and frequency changes of about 14 dB, and −18 kHz, respectively, were obtained, in a viscosity range from about 1 mPa.s to 1000 mPa.s.

PL

Opracowano czujnik lepkości cieczy na poprzecznym horyzontalnym akustycznym modzie płytowym (PHAMP) z filtrem na akustycznej fali powierzchniowej (AFP) do selekcji wybranego modu. Dla linii opóźniającej na kwarcu o orientacji BT (−50,5°YX90°) ze złotymi elektrodami uzyskano paraboliczną zależność zmian częstotliwości w funkcji temperatury. Punkt zwrotny paraboli wystąpił dla temperatury około 0°C a współczynnik temperaturowy wyniósł około −25 ppb/(°C)2. Filtr rezonatorowy z AFP zaprojektowano i wykonano na kwarcu o orientacji 38°YX. Z cewkami o indukcyjności około 0,5 μH, połączonymi seryjnie z obciążeniem 50 Ω, uzyskano tłumienność wtrącenia około 2 dB na częstotliwości 100,4 MHz. Dla linii opóźniającej połączonej kaskadowo z filtrem, uzyskano tłumienność wtrącenia około 12 dB, punkt zwrotny paraboli wystąpił w temperaturze 5°C, a współczynnik temperaturowy wyniósł około −30 ppb/(°C)2. Do pomiaru zmian tłumienności wtrącenia i częstotliwości w funkcji iloczynu gęstości masy i lepkości dynamicznej zastosowano wodne roztwory gliceryny. W zakresie lepkości od 1 mPa.s do 1000 mPa.s, uzyskano zmianę tłumienności wtrącenia o 14 dB i częstotliwości o −18 kHz.

3

Surface acoustic wave low insertion loss delay line for applications in sensors

Soluch W.

Materiały Elektroniczne

|

2016

|

T. 44, nr 1

4--6

EN

It was shown that low insertion loss of a surface acoustic wave (SAW) delay line could be achieved when strong triple transit signals (TTS) are present. As an example, low insertion loss delay line on YZ LiNbO3, was developed. Double electrodes were used in interdigital transducers (IDTs) and in a screen. At a frequency of 62 MHz, insertion loss of about 8 dB, was obtained. Low insertion loss and narrow bandwidth make this SAW delay line attractive for applications in physical and gas sensors.

PL

Wykazano, że mała tłumienność wtrącenia linii opóźniającej z akustyczną falą powierzchniową (AFP) jest możliwa do uzyskania, gdy występuje silny sygnał trzeciego echa (STE). Jako przykład, opracowana została linia opóźniająca na podłożu YZ LiNbO3. W przetwornikach międzypalczastych i w ekranie zastosowano podwójne elektrody. Na częstotliwości 62 MHz uzyskano tłumienność wtrącenia około 8 dB. Mała tłumienność wtrącenia i wąskie pasmo czynią tę linię atrakcyjną do zastosowań w czujnikach fizycznych i gazowych.

4

Właściwości akustycznych fal powierzchniowych w płaszczyźnie Z kryształu GaN

Soluch W., Łysakowska M., Brzozowski E.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2010

|

Vol. 51, nr 12

117-118

PL

Przedstawiono wyniki obliczeń i pomiarów właściwości akustycznych fal powierzchniowych (AFP) w płaszczyźnie Z półizolacyjnego kryształu GaN. Z porównania zmierzonej i obliczonej charakterystyki amplitudowej linii opóźniającej uzyskano prędkość 3845 m/s i współczynnik sprzężenia elektromechanicznego 0,25%. Temperaturowy współczynnik częstotliwości, wyznaczony z pomiarów w zakresie temperatur -20...80º C, wynosi około -23 ·10 ⁻⁶/ºC.

EN

Results of calculations and measurements of surface acoustic wave (SAW) properties in the Z plane of semiinsulating GaN crystal are presented. By matching the measured and calculated amplitude responses of a delay line, a velocity and an electromechanical coupling coefficient of about 3845 m/s and 0.25%, respectively, were obtained. A temperature coefficient of frequency (TCF), measured in the temperature range from -20...80ºC, is about -23 ppm/ºC.

5

Zastosowanie rezonatora kwarcowego z akustyczną falą powierzchniową i warstwy azotku tytanu do wykrywania amoniaku

Soluch W., Sadura J., Teodorczyk M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2009

|

Vol. 50, nr 2

71-73

PL

Przedstawiono wpływ warstwy azotku tyatanu (TiN) na parametry rezonatora kwarcowego z akustyczną falą powierzchniową (AFP). Na częstotliwości około 196MHz i dla grubości warstwy TiN około 0,1 μm, uzyskano tłumienność wtrąceniową około 22 dB i dobroć obciążonego rezonatora około 10 000. Badania wpływu adsorpcji i desorpcji amoniaku na zmiany częstotliwości rezonatora badano w atmosferze suchego azotu. Stwierdzono, że częstotliwość rezonatora wzrasta w wyniku adsorpcji amoniaku (NH3). Jest to przypuszczalnie spowodowane wzrostem sztywności mechanicznej warstwy TiN. Ze wstępnych badań wynika, że rezonator kwarcowy z AFP i warstwa TiN mogą znaleźć zastosowanie w czujnikach amoniaku.

EN

Effect of titanium nitride (TiN) layer on a surface acoustic wave (SAW) guartz resonator parameters is presented. At a frequency of about 196 MHz and for TiN layer thickness of about 0.1 μm, insertion loss of about 22 d Band loaded quality factor of about 10 000 were obtained. Effect of ammonia adsorption and desorptipn on the resonator freguency changes were investigated in a dry nitride atmosphere. It was found that, as a result of ammonia adsorption, the resonator frequency was increased. It was probably caused by an increase of the TiN layer mechanical stiffness. From the preliminary investigations it follows that quartz SAW resonator and TiN layer can find application in ammonia sensors.

6

Właściwości akustycznych modów płytowych w niobianie litu o orientacji YX

Soluch W., Łysakowska M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2009

|

Vol. 50, nr 2

94-96

PL

Przedstawiono wyniki obliczeń i pomiarów akustycznych modów płytowych (AMP) w niobianie litu o orientacji YX. AMP wzbudzane były przy pomocy linii opóźniającej naniesionej na jedną płaszczyznę płytki, a badana ciecz kontaktowała z płaszczyzną przeciwległą. Największą czułość na zmiany lepkości cieczy uzyskano dla modu, który posiada koncentrację poprzecznej składowej przemieszczeń mechanicznych przy płaszczyznach płytki. Dla częstotliwości około 76,6 MHz, przy zmianie lepkości od 1...1000 mPas, zmiana tłumienności wtrąceniowej linii opóźniającej wyniosła około 8 dB. Mod ten może znaleźć zastosowanie w czujnikach lepkości cieczy, a pozostałe w czujnikach biologicznych.

EN

Results of calculations and measurements of acoustic plate modes (APM) properties in YX lithium niobate is the wavelength, are presented. A delay line was deposited on one piane of the plate and an investigated liquid was in contact with the opposite one. A highest sensitivity for liquid viscosity changes was obtained for a mode with a shear component of mechanical displacement concentrated near the plate surfaces. At a frequency of about 76.6 MHz and for viscosity change from abput 1 mPas to about 1000 mPas, an insertion change of the delay line was about 8 dB. This mode can find application in viscosity sensors of liquids. The remaining modes can find application in biosensors.

7

Właściwości akustycznych modów płytowych w niobianie litu o orientacji YZ

Soluch W., Łysakowska M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2008

|

Vol. 49, nr 7-8

41-42

PL

Przedstawiono wyniki obliczeń i pomiarów akustycznych modów płytowych (AMP) w niobianie litu o orientacji YZ. Uzyskano dobrą zgodność obliczonych i zmierzonych widm AMP. Stwierdzono, że najmniejsze tłumienności wtrącenia mają AMP, które charakteryzują się koncentracją przemieszczeń mechanicznych przy obydwu płaszczyznach płytki. Ich źródłem są akustyczne fale pseudopowierzchniowe. AMP w niobianie litu o orientacji YZ mogą znaleźć zastosowanie w czujnikach cieczowych.

EN

Results of calculations and measurements of acoustic plate modes (APM) in YZ lithium niobate are presented. Good agreement between the calculated and measured spectrums of APM was obtained. It was found that minimum insertion Ioss exists for APM which are characterized by concentration of mechanical displacements near both planes of a plate. The source of these modes are pseudo surface acoustic waves. APM in YZ lithium niobate can find application in liquid sensors.

8

Rezonator kwarcowy z akustyczną falą powierzchniową do zastosowań w czujnikach gazowych

Soluch W., Dąbrowska E.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2005

|

Vol. 46, nr 5

45-47

PL

Przedstawiono właściwości rezonatora kwarcowego z akustyczną falą powierzchniową (AFP) przeznaczonego do zastosowań w czujnikach gazowych. Na częstotliwości ok. 197 MHz uzyskano tłumienność wtrącenia ok. 12 dB i dobroć rezonatora obciążonego ok. 14000. Stwierdzono, że warstwa SiO2 o grubości 50 nm zabezpiecza rezonator przed agresywnym wpływem środowiska. Rezonator z warstwą adsorpcyjną trójetanoloaminy zmodyfikowanej kwasem borowym zastosowano do pomiarów stężenia SO2.

EN

Properties of a quartz surface acoustic wave (SAW) resonator for applications in gas sensors are presented. At a frequency of about 197 MHz, insertion loss and loaded quality factor of about 12 db and 14 000, respectively, were obtained. It was found that SiO2 layer of 50 nm thick is sufficient for the resonator protection against aggressive effect of an environment. The resonator with an adsorption layer of triethanolamine modified with boric acid was used for SO2 concentration measurements.

9

Kwarcowy filtr rezonatorowy z akustyczną falą powierzchniową na częstotliwość 164,465 MHz

Soluch W., Wróbel T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2004

|

Vol. 45, nr 5

18-20

PL

Zaprojektowano i wykonano filtr rezonatorowy z akustyczną falą powierzniową na częstotliwość 164,465 MHz. Filtr składa się z dwóch rezonatorów sprzężonych akustycznie. Jako podłoże zastosowano kwarc o orientacji 38°YX. Po dopasowaniu, uzyskano tłumiennośc wtrącenia poniżej 2 dB i szerokośc okło 130 kHz.

EN

A surface acoustic wave resonator filter for the frequency of 164,465 MHz was designed and fabricated. The filter consists of two acoustically coupled resonators. 38°YX - cut quartz was used as a substrate. After matching, insertion loss below 2 dB and 130 kHz bandwidth, were obtained.

10

Zastosowanie akustycznych fal powierzchniowych do rozpylania cieczy

Soluch W., Wróbel T., Hechner J.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2003

|

Vol. 44, nr 10

23-25

PL

Ruch cząstek podłoża piezoelektrycznego, wywołany propagacją akustycznej fali powierzchniowej (AFP), może być zastosowany do rozpylania małych ilości cieczy. Celem uzyskania ciągłej pracy rozpylacza, AFP była wzbudzana jednokierunkowym przetwornikiem międzypalczastym, naniesionym na podłoże z 128°YX LINbO3. Dla wody, na częstotliwości 38,8 MHz i przy mocy wejściowej około 3 W, uzyskano wydajność rozpylania 0,3 ml/min i średnice kropel około 6 nm.

EN

Motion of a piezoelectric substrate particles, caused by propagation of surface acoustic wave (SAW), can be used for atomisation of small guantities of liquids. To obtain continuous operation of such atomiser, SAW was excited by an unidirectional interdigital transducer, deposited on a 128°YX LINbOS substrate. For water, at a frequency of 38,8 MHz and for a driving power of about 3 W, an atomisation efficiency of 0,3 ml/min, and droplets diameter of about 6 nm, were obtained.

11

Rezonatory kwarcowe z akustyczną poprzeczną falą powierzchniową na częstotliwości 1030 i 1090 MHz

Soluch W., Wróbel T., Hechner J., Niewczas B., Teodorczyk M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2002

|

Vol. 43, nr 5

17-20

PL

Opracowano struktury i technologię rezonatorów kwarcowych z akustyczną poprzeczną falą powierzchniową na częstotliwość 1030 i 1090 MHz. Przy obciążeniu 50 Ω uzyskano tłumienności wtrącenia około 7 dB, dobroci około 4000 i tłumienie drgań pasożytniczych ponad 5 dB. Stwierdzono, że dla zastosowań w generatorach korzystne jest zastosowanie kwarcu o orientacji 37°YX, dla której punkt kompensacji temperaturowej występuje przy temperaturze około 65°C.

EN

Structures and technology of surface acoustic transverse wave resonators on quartz for the frequencies 1030 MHz and 1090 MHz, were elaborated. At 50 Ω load, the insertion losses about 7 dB, the quality factors about 4000 and the attenuations of spurious resonance’s above 5 dB, were obtained. It was found, that for the oscillators applications, the 37°YX orientation should be used since in this case the temperature compensation point exists at 65°C.

12

Akustyczne fale pseudopowierzchniowe w kryształach piezoelektrycznych

Soluch W., Łysakowska M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2002

|

Vol. 43, nr 2

14-16

PL

Opracowano program komputerowy przeznaczony do obliczeń parametrów akustycznych fal pseudopowierzchniowych w kryształach piezoelektrycznych. Do obliczeń wpływu grubości cienkiej warstwy aluminium na prędkość tych fal zastosowano metodę perturbacyjną. Uzyskano bardzo dobrą zgodność wyników obliczeń i pomiarów dla kryształu niobianu litu o orientacji 64°YX.

EN

Computer program for calculations of pseudo surface acoustic waves parameters in piezoelectric crystals was developed. Perturbation method was used for calculations of the effect of the thickness of thin aluminum layer on the velocity of these waves. Very good agreement was obtained for calculated and measured results on 64°YX lithium niobate crystal.

13

Filtr zaporowy z przetwornikami międzypalczastymi na akustycznych falach powierzchniowych

Soluch W., Wróbel T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2001

|

Vol. 42, nr 5

22-23

PL

Przedstawiono filtr zaporowy na częstotliwość 135,6 MHz z przetwornikami międzypalczastymi na akustycznych falach powierzchniowych (AFP). Celem eliminacji zaburzeń tłumienności w paśmie przepustowym filtru w przetwornikach zastosowano apodyzację. Uzyskano tłumienność 47 dB przy częstotliwości pułapki i szerokość pasma tłumionego 37 kHz dla dwóch łańcuchowo połączonych ogniw. Filtry mogą funkcjonować w zakresie do 1000 MHz.

EN

Notch filter with surface acoustic wave (SAW) interdigital transducers (IDT) for the frequency 135.6 MHz is presented. To eliminate distortions in the passband the IDTs were apodized. Attenuation of about 47 dB in the stop band of about 37 kHz were achieved for the cascade connection of two such filters. There filters can operate in a frequency range up to 1000 MHz.

14

Obliczenia i pomiary parametrów akustycznych fal powierzchniowych w niobianie litu o orientacji 128° YX

Soluch W., Łysakowska M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2000

|

Vol. 41, nr 3

18-20

PL

Przedstawiono wyniki obliczeń i pomiarów parametrów akustycznych fal powierzchniowych w niobianie litu (LiNbO3) o orientacji 128° YX, który jest powrzechnie stosowany w produkcji filtrów z akustyczn a falą powierzchniową (AFP). Obliczenia przeprowadzono przy wykorzystaniu opracowanego wczesniej programu komputerowego, który został przystosowany do obliczeń przy uwzględnieniu skończonej grubości warstwy metalu naniesionej na podłoże piezoelektryczne. Do pomiaru parametrów AFP zastosowano metodę czwórniakowego rezonansu synchronicznego. Uzyskano bardzo dobrą zgodność wyników obliczeń i pomiarów,

EN

Results of calculations and measurements of SAW parameters in 128° YX cut lithium niobate, which is used in mass production of surface acoustic wave (SAW) filters, are presented. The calculations were performed by means of a computer program, which was adapted for calculations with finite thickness of a metal layer deposited on a piesoelectric substrate. A two port synchronous resonator method was used for SAW parameters measurements. Very good agreement was obtained between the results of calculations and measurements.

15

Filtr zaporowy z rezonatorami kwarcowymi na akustycznych falach powierzchniowych

Soluch W., Wróbel T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2000

|

Vol. 41, nr 5

9-10

PL

Przedstawiono filtr zaporowy na częstotliwości 135.76 MHz. Filtr ten składa się z trzech ogniw wszechprzepustowych LC i trzech rezonatorów kwarcowych na akustycznych falach powierzchniowych (AFP). Częstotliwości rezonatorów różnią się między sobą, dzięki czemu uzyskano szerokość pasma zaporowego równą 11 kHz na poziomie 30 dB. Szerokość pasma przepustowego wynosi około 1000 MHz.

EN

A notch filter for frequency 135.76 MHz is presented. The filter consists of three LC all--pass networks and three quartz surface accoustic wave (SAW) resonators. The resonators frequencies differ between each other, therefore the notch bandwidth is equal to 11 kHz at 30 dB level. The passband width is equal to about 1000 MHz.

16

Technologia i właściwości rezonatorów z akustyczną falą powierzchniową na częstotliwość 423, 22 i 433, 92 MHz

Soluch W., Wróbel T., Hechner J., Niewczas B.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

1998

|

Vol. 39, nr 9

3-6

PL

Rezonatory o częstotliwości rezonansowej 423,22 MHz i 433,92 MHz są stosowane w urządzeniach alarmowych ruchomych lub stacjonarnych. Rezonatory zaprojektowano metodą macierzy rozproszenia; mogą one funkcjonować jako czwórnikowe lub dwójnikowe. W artykule przedstawiono niektóre problemy technologiczne oraz parametry elektryczne rezonatorów w konfiguracji czwórnikowej i dwójnikowej. Zamieszczono także, przykładowe charakterystyki amplitudową i fazową oraz wykres admitancji rezonatora.

EN

Surface acoustic wave resonators (SAW) on ST cut quartz for frequences 423.22 MHz and 433.92 MHz were designed, fabricated and measured. The resonators can operate in a two port or one port configurations and can be used in different types of alarms. The lift-off photolitographic technology, used for fabrication of the resonators, is described, and the measured parameters of the resonators are presented.