Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Equivalent Model of a Magnetron Sputtering Device with Ferromagnetic Yoke

Desideri D., Maschio A., Micu D. D., Miron O. R., Spolaore M.

Przegląd Elektrotechniczny

2012

R. 88, nr 7b

134-137

Two magnetron-sputtering devices have been numerically analyzed, experimentally validating the results. It has been inferred that a ferromagnetic yoke is not present in the first device, while the second one has a ferromagnetic yoke. It is shown that either the adding of the yoke, in the first case, or the removal of the yoke, in the second one, has limited effects in the magnetic configuration over the cathode. The same result has been obtained in a dummy case, where a parametric analysis considering devices with different sizes, with and without yoke, has been performed.

W pracy przedstawiono analizę numeryczną dwóch magnetronów napylających oraz przedstawiono weryfikację doświadczalną wyników tej analizy. Wywnioskowano, że jarzmo ferromagnetyczne nie jest obecne w pierwszym urządzeniu, natomiast istnieje w drugim. Pokazano, że dodanie jarzma w pierwszym urządzeniu lub usunięcie w drugim ograniczyło wpływy układu magnetycznego na katodę. Ten sam wynik uzyskano w modelowym przypadku, w którym została przedstawiona analiza parametryczna urządzeń o różnych rozmiarach, z lub bez jarzma.

Estimation of an equivalent short solenoid model using different numerical methods

Miron O., Desideri D., Micu D.D., Maschio A., Ceclan A., Czumbil L.

Archives of Electrical Engineering

2011

Vol. 60, nr 4

433-444

This paper deals with an inverse magnetostatic problem related to the reconstruction of a permanent magnet encapsulated inside the cathode of a magnetron sputtering device. The numerical analysis is aimed to obtain the estimation of a short solenoid equivalent to the unknown magnet. Least squares approach has been used to solve the functional defined as squared sum of the residuals. A comparison of the results obtained with Genetic Algorithm approach and nonlinear system of equations is performed. A regularized solution, which is in good agreement with the experimental data, was found by applying a Newton adapted regularization technique.