Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2010

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Mikroskopia sił atomowych z zastosowaniem matryc mikrodźwigni sprężystych

Zawierucha P., Zielony M., Kopiec D., Woszczyna M., Sarov Y., Frank A., Ivanov T., Zöllner J. P., Rangelow I. W., Gotszalk T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2010

Vol. 51, nr 6

72-75

Mikroskopia sił atomowych (AFM) [1] jest jedną z podstawowych metod badania powierzchni. Pomimo bardzo szerokiego zastosowania w pomiarach laboratoryjnych w dalszym ciągu nie jest wykorzystywana w przemyśle. Związane jest to przede wszystkim z ograniczeń w szybkości wykonywania pojedynczego pomiaru. Jednym ze sposobów przyspieszenia pomiarów AFM jest zastosowanie zamiast pojedynczej sondy pomiarowej matrycy mikrodźwigni [2]. Jednoczesny pomiar wieloma dźwigniami pozwoli na relatywne skrócenie czasu pomiaru. Rozwiązanie takie pozwoli zachować wszystkie zalety pomiarów AFM jednocześnie umożliwiając wykonać pomiar powierzchni o rozmiarach nawet 10x10 mm². W pracy zaprezentowana zostanie dźwignia o zupełnie nowej konstrukcji, przeznaczona do zastosowań wielodźwigniowych. Prezentowana sonda pomiarowa przeznaczona jest do pracy w technice rezonansowej tapping-mode. Do przeprowadzenia eksperymentów konieczne było zbudowanie stanowiska pomiarowego. W pracy zaprezentowane zostanie stanowisko do pomiaru za pomocą matrycy 32 dźwigni. Wynikiem przeprowadzonych eksperymentów jest pomiar topografii powierzchni. W artykule przedstawiony zostanie obraz topografii struktury testowej wykonany 4 dźwigniami jednocześnie.

Atomic force microscopy (AFM) is one of basic surface measurements methods. It is a uniquely powerful tool for analysis and modification of surface but this method is not used in technological application yet. Current AFM methods are limited to single probes with very slow processing rates and very small scan area. One of the speed-up methods of AFM measurement is the replacement of single a cantilevers by cantilever array [2]. A measurement taken by several probes simultaneously will significantly speed up the measurement process. The proposed solution allow to make a huge area scan (up to 10 x 10 mm²) and will keep all unique abilities of AFM method. In this article, we present new AFM cantilever (PRONANO) for multiprobe application. The new probe has integrated a thermal band actuator and a piezoresistive deflection detector. In this paper, we present an experimental system for topography measurement by 31 cantilevers. This home made multiprobe AFM microscope is designated for measurement in dynamic contact mode (tapping-mode). In this article, there are presented surface measurements made by 4 cantilevers simultaneously.