Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 2013

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Wpływ rozdzielczości skanowania mikroskopu AFM na wyznaczone wartości geometryczne, fraktalne i statystyczne

Bramowicz Mirosław, Kulesza Sławomir, Szabracki Paweł, Lipiński Tomasz

Inżynieria Materiałowa

2013

Vol. 34, nr 1

50--55

W pracy przedstawiono wyniki analizy wpływu rozdzielczości skanowania mikroskopu AFM na parametry geometryczne, charakterystyczne dla badanej wzorcowej powierzchni, oraz parametry statystyczne i fraktalne. W pracy opisano serię pomiarów topografii wzorca TGT1 (NT-MDT) przy różnej rozdzielczości skanowania w kontaktowym trybie pracy mikroskopu AFM. Wartości parametrów statystycznych: Sa, Sq, Sy, wyznaczone dla różnych rozdzielczości skanowania zgodnie z normą ISO 25178-6, porównano ze sobą oraz zestawiono z parametrami fraktalnymi: długością korelacji (rc), wymiarem fraktalnym (D) oraz topotezą powierzchni (K). Z przeprowadzonych pomiarów wynika, że w przypadku okresowego ukształtowania powierzchni krok pomiarowy (w analizowanym zakresie) nie wywiera istotnego wpływu na wartości parametrów geometrycznych, statystycznych oraz ocenę anizotropii powierzchni. Jego wartość, jak i gęstość skanowania są istotne w analizie fraktalnej przeprowadzanej metodą funkcji struktury S(t). Wynika to ze wzrastającej wraz z rozdzielczością liczby punktów mieszczących się w liniowym zakresie krzywej S(t) wyznaczającym obszar samopodobieństwa badanej powierzchni.

The effect of the scanning resolution on the geometrical, statistical and fractal parameters extracted from the AFM images of the reference sample of a well-known shape is analyzed in the paper. A series of measurements was carried out in the contact mode on the TGT1 calibration grating supplied by NT-MDT. The statistical parameters Sa, Sq, Sy were estimated (according to norm ISO 25178-6) and compared to the images with different scan resolution, and then the numerical procedure was applied to extract fractal parameters such as: the correlation length (rc), fractal dimension (D) and topothesy (K) from the AFM images of different lateral resolution. The obtained results suggest that for isotropic surfaces neither geometrical features, statistical features nor the anisotropy ratio is signiﬁcantly affected by the scan step. On the other hand, the scan step and the scan resolution are important when the images are analyzed on the grounds of fractal geometry using the structure function S(t). This is mainly due to the fact that with an increasing scan resolution, the number of points in the linear range of the structure function increases as well, and only within this range does the surface reveal self-afﬁne properties.