The paper presents results of optical and surface morphology investigations of semitransparent silver single thin films deposited on glass substrate in relation to their heat radiation treatment. The thickness of 15 nm for the silver thin films was selected using computer designing of optical spectra and the films were deposited using electron beam evaporation process. Optical transmission and reflection were investigated for as deposited samples and after exposition to heat radiation from quartz-halogen lamp. The changes in the optical spectra were observed which suggested degradation of deposited heat mirrors. Structure and surface morphology studies performed using scanning electron microscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and atomic force microscopy allowed us to conclude about formation of nanometric silver islands, regularly distributed over the surface of the glass substrate after exposure to heat treatment.
Przedstawiono wyniki badań układu magnetronowego WMP 100x2500 przeznaczonego do otrzymywania powłok cienkowarstwowych na wielkogabarytowych podłożach. W ramach prac badawczych opracowano koncepcję, wykonano dokumentację konstrukcyjną i wykonano magnetronowy układ rozpylający. Prototyp WMP100x500 jest oryginalnym krajowym rozwiązaniem konstrukcyjnym, które będzie wykorzystane na linii produkcyjnej, do nanoszenia warstw na szklane podłoża, w firmie BOHAMET Bydgoszcz.
EN
The paper presents results of investigations of WMP 100x2500 magnetron designed to receive large-size thin-film coatings on substrates. The research work covers development of the concept, preparation of the design documentation and realization of magnetron sputtering system. The WMP 100x2500 prototype is an original domestic design solution that will be used on the production line for applying layers of glass panes in the company BOHAMET Bydgoszcz.
Celem badań było opracowanie prototypowej linii do przemysłowego osadzania cienkich warstw na wielkogabarytowe podłoża. Prototypowe urządzenie wykonano w wersji wsadowej (nanoszenie cienkich warstw w oddzielnych cyklach próżniowych). Opracowano konstrukcję linii wyposażonej w oryginalne układy sterowania cyklem pompowania oraz procesem rozpylania magnetronowego (magnetron planarny prostokątny}.
EN
The aim of this study was to develop a prototype line for the industrial deposition of thin films on large-size substrate. A prototype off-line version of the device was performed (deposition of thin films in a separate vacuum cycles). Developed design a line equipped with the original controls the pumping cycle and the process of magnetron sputtering {planar, rectangular magnetron).
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.