We propose to use technology of electrochemical formation of low-dimensional porous silicon(porSi), which is compatible with the standard technologies of silicon VLSI, for creation of sensor part of MEMS "Lab-on-chip" type.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.