W artykule przedstawiono konstrukcję mikropompki gazowej, opartej na dynamicznych zaworach biernych typu nozzle. Napęd pompki stanowi element piezoelektryczny. W artykule przedstawiono charakterystki pompki: szybkość pompowania, maksymalne ciśnienie wsteczne oraz maksymalne podciśnienie na wlocie pompki w funkcji częstotliwości i amplitudy napięcia zasilania. Zbadano także charakterystyki temperaturowe mikropompki.
EN
In this paper the design of gas micropump based on dynamic "nozzle" types valves is presented. The pump is piezoelectrically actuated. The results of measurements such as: pumping rate, back pressure, pressure on the inlet as a function of frequency and amplitude of supply voltage are reported. The temperature of the pump during operation is investigated, too.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.