PL
 |
EN
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Powiadomienia systemowe
  • Sesja wygasła!
  • Sesja wygasła!

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
1
Symulacja komputerowa magnetronowego układu rozpylającego WMK-50
Posadowski W. M., Czarczvński W.
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
|
2009
|
Vol. 50, nr 9
82-84
PL
Wykonano komputerowe symulacje ruchu naładowanych cząstek w wyładowaniu jarzeniowym magnetronu kołowego WMK-50. Symulowano warunki pracy magnetronu za pomocą pakietu programów obliczających tory cząstek naładowanych poruszających się w polach elektrycznym i magnetycznym. Otrzymane wyniki porównano z obserwowanymi zjawiskami występującymi podczas procesów rozpylania. Przewiduje się wykorzystanie wyników badań do uzupełnienia opisu zjawisk zachodzących podczas rozpylania magnetronowego, a w szczególności podczas reaktywnych procesów osadzania warstw.
EN
Computer simulations of charged particles movement in a glow discharge of WMK-50 circular magnetron have been done. The magnetron working conditions were simulated using codes for charged particles trajectories in electric and magnetic fields. The obtained results were compared with the phenomena observed during sputtering processes. The results will be used to improve the description of magnetron sputtering, in particular the reactive deposition of layers.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.