We developed the LIGA process using a compact synchrotron radiation (SR) source and ceramics micro fabrication process. These processes realized an array of lead zir-conate titanate (PZ7) rods whose cross section is 25 urn and was applied to manufacture piezocomposite for high resolution ultrasonic diagnosis for the first time. We also developed microconnector by the LIGA process.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.