W pracy przedstawiono wyniki badań struktury i własności wielowarstwowych powłok CVD na podłożu z narzędziowej ceramiki azotkowej Si3N4. Przedstawiono wyniki badań na skaningowym mikroskopie elektronowym, wyniki badań przyczepności naniesionych pokryć do podłoża oraz wyniki mikrotwardości i chropowatości. Wykonano również badania składu chemicznego wytworzonych powłok za pomocą spektrometru energii rozproszonego promieniowania rentgenowskiego EDS oraz składu fazowego przy użyciu dyfraktometru rentgenowskiego. Płytki z Si3N4 pokryto wielowarstwowo w wysokotemperaturowym procesie CVD kombinacją powłok TiC, Ti(C, N), Al2O3 i TiN, które następnie porównano z komercyjnymi płytkami różnych producentów oferujących kombinację pokryć CVD typu Al2O3+TiN.
EN
In the paper results of examinations of structure and properties of multilayer CVD coatings on the tool nitride ceramics substrate Si3N4 have been presented. The results of examinations in a scanning microscope, the one of adhesion of deposited coatings and microhardness and roughness have been presented. Moreover, the examination of chemical composition of coatings created by means of a spectrometer of energy of dispersed X-ray EDS and phase composition by means of a X-ray diffractometer. Inserts including Si3N4 have been covered multilayerly by the combination of TiC, Ti(C, N), Al2O3 and TiN in high temperature CVD which next have been compared with the commercial inserts of different producers offering the combination of Al2O3+TiN CVD coatings.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.