Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Przegląd Elektrotechniczny

1 2010

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: właściwości rezystancyjne

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Metoda określania właściwości rezystancyjnych planarnych układów przewodzących implantowanych jonami o zasięgu porównywalnym z grubością układu

Wiśniewski R., Wilczyńska T., Wieteska K.

Przegląd Elektrotechniczny

2010

R. 86, nr 7

32-35

W pracy przestawiono metodę określania właściwości rezystancyjnych warstw implantowanych tworzących wraz z próbką układy planarne. Zastosowano metodę analizy właściwości układu zastępczego wirtualnie oddzielonej warstwy implantowanej i reszty materiału próbki. Analizie podlegają zmiany samej rezystywności obszaru zaimplantowanego jak również jej zależności temperaturowe, ciśnieniowe i inne. Grubości warstw implantowanych muszą być znane i porównywalne z grubością badanej próbki.

In the paper a method for analyze of resistive properties of implanted planar systems has been presented. A substitute resistance of virtually separated implanted layers foil and the rest of material specimen were taken under consideration. There is possible to analyze changes directly resistivity and it temperature, pressure and so on dependencies as well. The thicknesses of implanted layers have to be known and comparable with thickness of investigated specimens.