Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Przemysł Chemiczny

1 2006

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: właściwości powierzchniowe warstw

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Wpływ parametrów osadzania na właściwości powierzchniowe warstw

Rżanek-Boroch Z., Jóźwik K., Ilik A., Kosiński A.

Przemysł Chemiczny

2006

T. 85, nr 8-9

748-750

Wyznaczono optymalne warunki osadzania powłok metodą DBD (dielectric barrier discharge) na podłożach krzemowych (wyładowanie barierowe pod ciśnieniem atmosferycznym z mieszaniny trimetylometoksysilan + hel + tlen). Powłoki składały się z tlenku krzemu i niewielkich domieszek węgla pochodzących z rozkładu prekursora. Z wyników FTIR, XPS, AFM oraz współczynnika tarcia wykazano, że powłoki gładkie o małym współczynniku tarcia, które mogą znaleźć zastosowanie w mikromechanice, można uzyskać w temp. 200°C, z mieszaniny 1,1% TMMOS + He + 0,72% O2.

Dielec. barrier discharges (5 kHz) were used (5 min/200°C/1 atm.) to deposit 100–500 nm Si oxide coatings on <111> Si monocrystals (friction coeff., 0.2) from 1.1% trimethylmethoxysilane (TMMOS) + 0.72% O2 + He mixtures. Minor C amts. were left in the coatings. FTIR, XSP, AFM patterns and friction coeff. (0.5–0.7) data showed the coated surfaces to be smooth enough for micromech. appln. The 50°C coats were moist and viscous.