W pracy przedstawiono aktualny stan wiedzy w stosunkowo nowej dziedzinie techniki nazwanej mikroelektroniką próżniową. Opisano właściwości miniaturowych urządzeń mikroelektroniki próżniowej, stosowane materiały i technologie. Przedstawiono podstawowe parametry oraz zastosowania miniaturowych źródeł elektronów, w których katodę stanowią matryce mikroemiterów polowych.
EN
In the work, a state of the art of a relatively new field of technology, called vacuum microelectronics, is presented. Properties of the miniature devices of vacuum microelectronics, applied materials and processes of fabrication are described. The main parameters and applications of the miniature electron sources with field-emitters array cathode are presented.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.