Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: urządzenie do trawienia lonSys 500

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Nowoczesne metody trawienia jonowego w strukturyzacji nanokolumn wykazujących zjawisko tunelowego magnetooporu

Chomiuk P.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2012

Vol. 53, nr 10

98-99

Nowoczesne metody trawienia jonowego umożliwiają wytwarzanie struktur o rozmiarach poniżej 100 nm. Obróbka różnego rodzaju materiałów jest możliwa dzięki odpowiedniemu doborowi parametrów procesu. W artykule prśedstawiono aparaturę lonSys 500 firmy Microsystems przeznaczoną do precyzyjnej obróbki powierzchni oraz przykład zastosowania tego urządzenia w wytwarzaniu subtelnych kolumnowych nanostuktur wykazujących zjawisko tunelowego magnetooporu.

Novel ion beam etching techniques enable patterning of structures with dimensions below 100 nm. Due to proper parameters control different materials can be processed. In this article a MicroSystems' lonSys 500 system for precise surface processing is presented, and pillar-shaped nanostructures with tunnel magnetoresistance effect, as an application example.