W pracy dokonano przeglądu konstrukcji akceleratorów plazmy stosowanych w technologii osadzania cienkich powłok metodami PAPVD. Szczegółowo omówiono konstrukcje akceleratorów magnetoplazmo-dynamicznych, i dokonano ich klasyfikacji ze względu na kierunek ruchu generowanej przez nie plazmy. Omówiono perspektywy rozwoju tego typu akceleratorów plazmy.
EN
The paper presents the review of different constructions of plasma accelerators applied in technologies of thin coatings deposition by PAPVD methods. The constructions of magnetoplasmodynamic accelerators are discussed in detail and their classification, with respect to the direction of generated plasma movement, is presented. The perspectives of development of such accelerators are discussed.
2
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
W artykule dokonano analizy budowy typowych urządzeń PAPVD oferowanych na rynku europejskim. Pozwoliło to określić zakres wymagań, jakie powinien spełniać system sterowania procesami technologicznymi w urządzeniach PAPVD. Na tej podstawie wykonano prototypowy system sterowania dla wieloźródłowego urządzenia do nakładania powłok metodą łukowo-próżniową. W artykule przedstawiono budowę, możliwości technologiczne oraz sposób realizacji poszczególnych funkcji opracowanego systemu sterowania: programowanie, sterowanie, kontrola, rejestracja, wizualizacja.
EN
The paper analyses the structures of tipical PAPVD devices offered on the European market. It enabled to determinate the range of requirements, which shold be met by the control system of technological processes in PAPVD devices. On this basis a prototype control system for a multi-source device for coating deposition by means of the arc-vacuum method was produced. The paper presents the structure, technological abilities and method of execution of particular functions of the developed control system: programming, control, inspection, registration, visualisation.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.