Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

The comparison of the structural properties of multilayered systems Cu/Ni obtained by the electrochemical and face-to-face sputtering methods

Gągorowska B., Duś-Sitek M.

Archives of Metallurgy and Materials

|

2008

|

Vol. 53, iss. 3

909-917

EN

The investigations of the structural properties of Cu/Ni multilayer systems for following samples: Si(100)/[Cu(20Å)/Ni(t)] x 100, Si(100)/[Ni(20 Å)/Cu(t)] x 100 were performed. The samples were produced using electrochemical and face-to-face sputtering methods. It was affirmed that multilayers obtained by face-to-face sputtering method, in comparison with samples obtained by electrochemical method, were characterized by better quality of the structure. The samples madę by the face-to-face sputtering method have smaller value of the interface roughness, higher quantity and quality of satellite peaks. The half widths of peaks for both superlattices are similar. Additionally, in reflectivity measurements the presence of Bragg peaks was stated. They are used to determine the value of period of the multilayer system. These type of peaks was not present in samples madę by electrochemical method.

PL

W pracy przedstawiono wyniki badań właściwości strukturalnych układów wielowarstwowych Cu/Ni. Wielowarstwy te otrzymano dwoma metodami: elektrochemiczną oraz rozpylenia jonowego. Na podstawie przeprowadzonych badań udowodniono, że próbki uzyskane metodą rozpylenia jonowego charakteryzują się lepszą jakością struktury. Przejawia się to: w mniejszej wartości szorstkości, obecnością wierzchołków satelitarnych, zbliżoną wartością szerokości połówkowej wierzchołków supersieci.

2

Structure and oscillatory coupling in NiFe/Ag multilayers

Stobiecki T., Gładyszewski G., Chocyk D., Czapkiewicz M., Wrona J., Żardecki D.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2000

|

Vol. 41, nr 11

47-48

EN

Multilayers composed of 40 x [Ni83Fe17/Ag] with constant thickness of Py (20 Å) and variable Ag thickness (7 Å <= tAg <= 25 Å) were deposited by RF sputtering onto the glass substrate. Best artificial superlattice properties: the smallest deviations from bulk interplanar distances of Ag and Py and smallest interfacial roughness were obtained for tAg > 19 Å. The oscillation period of A-F coupling against Ag spacer is 12 Å.

PL

Supersieci złożone z ferromagnetycznych warstw permaloju (Ni83Fe17) sa bardzo interesującymi układami dla zastosowań z powodu ich bardzo małych pól przełączających (<1 Oe). Tego typu układy wielowarstwowe sa jako elementy magnetorezystancyjne w głowicach komputerowych o wysokiej gęstości upakkowania informacji. Ponieważ wymienne oddziaływania magnetyczne mają zasięg od kilku do kilkunastu stałych sieciowych, jaość wytworzonej supersieci ma istotny wpływ na parametry magnetyczne i magnetorezystancyjne układu wielowastwowego. Badano układy wielowarstwowe (szkło - 40x[Ni83Fe17/Ag]) otrzymane metodą zmienno-prądowego (RF) rozpylenia jonowego, gdzie permaloj miał stałą grubość (20 Å), a srebro zmienną (7 Å <= tAg <=25 Å). Za pomocą dyfraktometru X'Pert firmy Philips otrzymano widma typu [theta]-2[theta] z których, posługując sie programem SlerfWin, wyznaczono parametry supersieci. Najlepsze własnośi supersieci, tzn. najniejsze odchylenie odległości płaszczyzn sieciowych od wartości odpowiadajacych materiałom litym (Ag i NiFe) i najmniejsze nierówności międzypowierzchni otrzymano dla układów wielowarstwowych o grubościach przekładki srebra tAg > 19 Å. Okres oscylacji wymiennego sprzężenia antyferromagnetycznego (A-F) wynosi 12 Å a stała wymiany sprzężenia antyferromagnetycznego JAF = - 2.4 x 10-8 J/m2 i jest o trzy rzędy wielkości mniejsza niz w układach wielowarstwowych NiFe/Cu.

3

Nonspecular X-ray diffraction from multilayered systems: an influence of the in-plane coherence of sublayers

Chocyk D., Gładyszewski G., Labat S., Gergaud P., Thomas O.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2000

|

Vol. 41, nr 11

40-41

EN

The experimental large-angle nonspecular x-ray diffraction (NXRD) profiles measured for multilayered systems are strongly dependent on structure perfection. We used the Monte Carlo simulation for calculating the NXRD profiles and to study the influence of a variety of structural parameters on diffraction profiles for Au(111)/Ni(111) and Au(001/Ni(001) multilayers. We show that differences in profiles can be attributed to a different degree of loss of the in-plane coherence between neighboring sublayers.

PL

Widma eksperymentalne wysokokątowego rozpraszania promieniowania rentgenowskiego w układach wielowarstwowych bardzo silnie zależą od jakości badanych struktur. Mogą się znacznie różnić nawet dla supersieci składających się z tych samych materiałów. Jedną z najbardziej znaczących różnic jest to, że widma zmierzone w pewnych przypadkach składają się z układu wielu wierzchołków satelitarnych, natomiast w innych zawierają tylko jeden wierzchołek. Podjęcie próby ustalenia przyczyny powstawania tej różnicy było celem niniejszej pracy. W pracy zastosowano trójwymiarowy model, oparty na symulacji Monte Carlo i kinematycznej teorii rozpraszania, pozwalający na obliczanie widm niezwierciadlanego rozpraszania promieniowania rentgenowskiego w obszarze wysokich kątów. Przy jego pomocy badano wpływ różnych parametrów strukturalnych na widma dyfrakcyjne supersieci złoto/nikiel. Zastosowanie różnych podłoży pozwoliło na uzyskanie warstw: Au(111 )/Ni(111) oraz Au(001)/Ni(001). W wyniku przeprowadzonych badań stwierdziliśmy, że wspomniana różnica w mierzonych widmach spowodowana jest różnym stopniem utraty koherencji pomiędzy sąsiednimi warstwami w płaszczyźnie próbki. Ustalenie przyczyny tej różnicy pozwoliło w dalszych symulacjach na jakościowe odtworzenie widm eksperymentalnych wspomnianych wyżej układów.

4

Advantages of face-to-face sputtering technique for preparation of magnetic alloys and multilayered films

Stobiecki F., Szymański B., Luciński T., Urbaniak M., Dubowik J., Gontarz R.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2000

|

Vol. 41, nr 11

29-32

EN

A comparison of face-to-face and magnetron sputtering systems is presented. Low argon pressure, high sputtering rates that can be achieved also for ferromagnetic materials and convenient substrate position (outside the plasma area) are the principal advantages of the face-to-face sputtering configuration. It was demonstrated that such the sputtering system can be successfully used for deposition of several types of magnetic thin film structures such as alloy films, compositionally modulated films and multilayered films exhibiting perpendicular anisotropy or giant magnetoresistance effect.

PL

Opisany został proces nanoszenia cienkich warstw, prowadzony z dwóch targetów położonych naprzeciw siebie (face-to-face sputtering), na podłoże usytuowane prostopadle do ich powierzchni. Pole magnetyczne prostopadłe do powierzchni targetów zapewnia skupoenie plazmy w obszarze miedzy nimi oraz zwiększa prawdopodobieństwo jonizacji gazu. Konfiguracja ta, w porównaniu z magnetronowymi ukladami rozpylania, pozwala prowadzić proces osadzania warstw przy niższym cisnieniu gazu, uzyskać wyzsze szybkości nanoszenia dla materiałów ferromagnetycznych oraz zapewnia mniejsze bombardowanie podłoża elektronami. Odpowiedni dobór geometrii układu (średnice targetów, odległość między targetami, usytuowanie podłoża) pozwala uzyskać warstwy o jednorodnym rozkładzie grubości lub o zamierzonym gradiencie grubości. Warstwy stopowe o stężeniu regulowanym potencjałem targetów moga być otrzymywane przy wykorzystaniu do tego celu targetów wykonanych z czystych pierwiastków. System złożony z czterech targetów (dwie pary targetów w konfiguracji face-to-face) pozwala wytwarzać warstwy wielokrotne, złożone z subwarstw o grubościach kilku stałych sieciowych, charakteryzujące sie wysoką powtarzalnością periiodu oscylacji stężenia. Dzięki temu mozliwe było wykorzystanie opisanej techniki nanoszenia warstw do uzyskania magnetycznych układów warstowowych, charakteryzujących się anizotropią prostopadłą do powierzchni warstwy (warstwy do zastosowań w pamięciach magneto-optycznych) lub wykazujących zjawisko gigantycznej magnetorezystancji.