A construction of an ultra-high vacuum lock and transfer system designed for MBE vacuum chambers, is presented. The two stage vacuum lock consists of shutter valve, introduction chamber, and transfer system based on rotary feed-throughts and transferring rod enabling 1.5 m range transfer. The whole system is bakeable up to 470 K, and the samples can be heated up to 1000 K inside the introduction chamber.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.