A 9.4MHz micro-electromechanical oscillator based on a Vibrating Body Field Effect Transistor (VB-FET) is presented in this work. The electrical characteristics of this active MEM resonator are detailed for static and dynamic operation. In open-loop configuration the tuning fork resonator provide a quality factor of 9400. The benefit of the intrinsic gain for oscillator design is analyzed and an oscillator design is proposed based on these findings. The proposed oscillator is fully CMOS compatible. The achieved performance shows the advantages of an active MEM resonator for the construction of MEM based oscillators
Podstawowym problemem towarzyszącym detekcji sił atomowych w mikroskopii bliskich oddziaływań jest pomiar wielkości elektrycznych proporcjonalnych do nanosiły lub nanowychyleń. Sygnał sondy, odpowiadający bliskiemu oddziaływaniu, narażony jest na wiele zakłóceń w torze pomiarowym. Aby zminimalizować ten problem koniecznie należy zastosować układ wstępnego wzmocnienia, którego budowa uzależniona jest od sposobu pomiaru topografii powierzchni. W opracowaniu przedstawiono rozwiązania przedwzmacniaczy współpracujących z systemem mikroskopii sił atomowych, w których rolę sondy siły skupionej na mikroostrzu pełni piezoelektryczny rezonator kwarcowy.
EN
Quartz tuning forks are widely applied in noncontact scanning probe micrcscopy as force sensors. Forces acting at the microtip, which is attached to one of the prong of the tuning fork, are used to describe surface parameters. The amplitude of the osscillation is at thelevelofnanometers, so generated piezoelectric voltage is very low. To obtain correct topography of the sample, it is crucial to detect these electric signal avoiding large voltage noise at the output. Therefore it is neccessary to use electronic input circuits, which preamplify signal produced by the tuning fork. In this article we present several tuning fork based schemes for atomic force microscopy applications. We compare current and voltage preamplifiers to determine which solution gives better results.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.