Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2009

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: thin films sputtering

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Właściwości elektryczne cienkich warstw ZrO₂ otrzymywanych metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego

Markowski J., Nitsch K., Wroński M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2009

Vol. 50, nr 9

86-89

Tlenek cyrkonu jest materiałem stosowanym na cienkie, twarde i przeźroczyste pokrycia mechaniczne, filtry optyczne, warstwy izolacyjne w mikroelektronice oraz ochronne pokrycia chemiczne. Występuje w trzech fazach polimorficznych: jednoskośnej, tetragonalnej i kubicznej. Właściwości elektryczne wybranych próbek cienkich warstw nanoszonych na podłoża szklane scharakteryzowano za pomocą metody spektroskopii impedancyjnej, w zależności od parametrów procesu technologicznego reaktywnego rozpylania magnetronowego. Głównym celem przeprowadzonych badań był pomiar charakterystyk impedancyjnych struktur metal-tlenek cyrkonu-metal w szerokim zakresie częstotliwości. Wyniki pomiarów wykazały znaczny wpływ mikrostruktury tlenku cyrkonu i rezystancji szeregowej elektrod na przebieg charakterystyk impedancyjnych struktur kondensatorowych. W wyniku przeprowadzonej analizy z wykorzystaniem elektrycznego modelu równoważnego reprezentującego badane struktury wyznaczono efektywne przenikalności elektryczne wytworzonych warstw ZrO₂.

Zirconium oxide is a great material used in production of thin hard and transparent mechanical coatings, optical filters, isolation layers in microelectronics and protective chemical coatings. It is found in three polymorphic phases: monoclinic, tetragonal and cubic. Electrical properties of chosen samples of ZrO₂ thin films sputtered onto glass substrates has been characterized with impedance spectroscopy in function of a reactive magnetron sputtering process parameters. Impedance spectroscopy has been used to determine impedance characteristics of metal-oxide-metal structures in wide frequency range. Results show significant influence of oxide microstructure and electrodes serial resistance on impedance spectra of structures. Effective dielectric permittivity of manufactured ZrO₂ layers has been determined using electric equivalent model representing measured structures.