Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2010

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: thin carbon layers

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Monitoring ramanowski wzrostu cienkich warstw węglowych : studium

Gnyba M., Kozanecki M., Wroczyński P., Bogdanowicz R.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2010

Vol. 51, nr 9

113-116

Przedstawiono zagadnienie monitorowania in-situ próżniowego procesu wzrostu cienkich warstw węglowych, w szczególności diamentowych i diamentopodobnych DLC. Zastosowanie pomiarów ramanowskich umożliwia zbadanie struktury warstwy na poziomie molekularnym (zawartości faz węglowych: sp² i sp³, a także defektów wodorowych). Użycie spektroskopii ramanowskiej in-situ podczas procesu syntezy pozwala monitorować poprawność przebiegu procesu i opracować wytyczne do jego optymalizacji. W artykule przedstawiono konfiguracje układów optycznych, problemy doboru długości fali lasera oraz rezulaty prac eksperymentalnych

In this paper we present selected problems referred to Raman in-situ monitoring of growth of carbon-based thin layers, especially - of diamond and diamond-like-carbon layers. Aplication of Raman measurements enables investigation of molecular composition of the layer (content of sp² and sp³ hybrydised carbon as well as presence of C-H defects). In-situ Raman monitoring enables also investigation of process progress and provides data useful for its optimisation. Setups of optical systems used in Raman spectroscopy, problems of exciation wavelengths selection and results experimental work are shown.