Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 3

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: thermomechanical noise

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Metrology and control of electromagnetically actuated cantilevers using optical beam deflection method

Kopiec Daniel, Majstrzyk Wojciech, Pruchnik Bartosz, Gacka Ewelina, Badura Dominik, Sierakowski Andrzej, Janus Paweł, Gotszalk Teodor

Metrology and Measurement Systems

2021

Vol. 28, nr 4

627--642

In this paper, we present metrology and control methods and techniques for electromagnetically actuated microcantilevers. The electromagnetically actuated cantilevers belong to the micro electro mechanical systems (MEMS), which can be used in high resolution force and mass change investigations. In the described experiments, silicon cantilevers with an integrated Lorentz current loop were investigated. The electromagnetically actuated cantilevers were characterized using a modified optical beam deflection (OBD) system, whose architecture was optimized in order to increase its resolution. The sensitivity of the OBD system was calibrated using a reference cantilever, whose spring constant was determined through thermomechanical noise analysis registered interferometrically. The optimized and calibrated OBD system was used to observe the resonance and bidirectional static deflection of the electromagnetically deflected cantilevers. After theoretical analysis and further experiments, it was possible to obtain setup sensitivity equal to 5.28 mV/nm.

Pomiar szumów piezorezystywnych przetworników mikromechanicznych

Kopiec D., Nieradka K., Rudek M., Gajewski K., Sierakowski A., Grabiec P., Jóźwiak G., Gotszalk T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2013

Vol. 54, nr 10

51-55

W pracy przedstawiono piezorezystywne mikromechaniczne przetworniki siły oraz zmian masy wykonane technologiami mikroelektronicznymi. Przedstawiona została ich zasada działania, główne źródła szumów występujących w tego rodzaju elementach oraz konstrukcja wzmacniacza do pomiaru szumów występujących w prezentowanych układach mikromechanicznych. Zaprezentowano także sposób doboru wzmacniaczy operacyjnych ze względu na poziom szumu występującego w systemie pomiarowym.

In this paper we present micromechanical force and mass change transducer with integrated piezoresistive deflection sensor made with use of microelectronic technology. We present the principles of operation of these transducers and identified the main sources of noise that occur in this type of elements. Amplifier design is presented for the measurement of low-frequency noise and selection method of operational amplifiers because of the noise present in the measurement system.

Wysokorozdzielczy pomiar ugięcia mikro- i nanomechanicznych czujników sił dla zakresu pikonewtonów

Kopiec D., Nieradka K., Małozięć G., Gotszalk T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2012

Vol. 53, nr 10

114-117

W artykule zaprezentowano system do pomiaru wychyleń przetwornika siły w postaci dźwigni mikromechanicznej. Omówiono budowę toru optycznej detekcji wiązki odbitej oraz analogowego toru przetwarzania sygnałów. W pracy przedstawiono wysokorozdzielcze pomiary powierzchni złota, grafitu wysokozorientowanego oraz pomiar wychylenia termomechanicznego mikroprzetwornika siły, który pokazuje zdolność rozdzielczą opracowanej konstrukcji. Zamieszczono również wyniki analiz ugięcia mikroprzetwornika siły w układach służących do modyfikacji powierzchni oraz w układach pobudzanych magnetycznie.

In this paper we present a system for measuring deflection of force transducer in the form of cantilevers. Construction of the reflected optical beam detection path and analog signal processing circuit were presented. The paper presents high resolution measurements of surfaces gold and graphite and thermomechanical deflection, which prove high resolution of our setup. We also present results of analyses of deflection force sensor in systems where surfaces is modified and in magnetically actuated system.