Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: thermoemission process

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Wytwarzanie jonów ujemnych z SF₆ za pomocą termoemisyjnego źródła jonów

Pelc A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2011

Vol. 52, nr 8

77-79

W pracy przedstawione są wyniki badań wytwarzania jonów ujemnych z SF₆. Jony ujemne otrzymywane były przy użyciu nowo skonstruowanego termoemisyjnego, gazowego źródła jonów i analizowane w spektrometrze mas z pojedynczym sektorem magnetycznym. Zaobserwowano aniony SF₅⁻, F⁻, SF₆⁻, SF₄⁻ oraz SF₃⁻ o stosunkach prądów jonowych wynoszących odpowiednio 1000:150:80:10:5:0,5. Ze względów energetycznych jon macierzysty SF₆ może powstać podczas bezpośredniego przyłączenia swobodnego elektronu do molekuły SF₆. Pozostałe jony mogą być wytwarzane zarówno w procesie fragmentacji SF₆⁻ jak też poprzez dysocjację termiczną i następujący po niej wychwyt elektronu przez powstałe fragmenty. Pomiary tła dla jonu F⁻ (po odcięciu dozowania sześciofluorku siarki) sugerują powstawanie HF na ściankach źródła jonów.

Results of studies of the negative ions formation from SF6 are presented in this work. Using the mass spectrometer with magnetic sector field, ions obtained in the thermoemission, gaseous ions source were analyzed. Five ion species: SF₅⁻, F⁻, SF₆⁻, SF₄⁻ and SF₃⁻ with ions currents intensities ratios 1000:150:80:10:5:0,5, respectively, were measured. From the energetic point of view the SF₆⁻ anion can be formed by the direct free electron attachment to the SF₆ molecule. The other ions may be generated both in the fragmentation process of SF₆ and by the thermal dissociation followed by the electron capture to the fragments formed. Background signal from F⁻ (after the gas admission was stopped) suggest HF formation on the wali of ion source.