W pracy przedstawiono wyniki eksperymentów związanych z opracowaniem zunifikowanego systemu obudów fluidycznych i czujników stężenia jonów, pH oraz temperatury w badanych roztworach. Struktury czujników wykonane były na płytkach krzemowych, a następnie zmontowane w wymiennych obudowach. Po zmontowaniu poddane zostały różnorodnym testom odpowiadającym zastosowaniom czujników. Potwierdzono możliwość poprawnej pracy czujników zintegrowanych w systemie. Podano wyniki pomiarowe poszczególnych elementów systemu.
EN
Experimental results related to development of a unified system of fluidic packages and sensors for potentiometric, pH, and temperature measurements have been reported. The sensors have been manufactured on silicon wafers. Then they have been assembled in the replaceable packages. A number of experiments corresponding to the sensor applications have been done. Correct sensor operation within the integrated system has been approved. Measurement data for the system elements have been given and discussed.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.