PL
 |
EN
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  technological holder
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
1
Content available Specjalizowane układy pozycjonowania podłoży w komorach próżniwych przeznaczonych do realizacji procesów PVD
Kozioł S. S., Piątek M., Samborski T.
Problemy Eksploatacji
|
2007
|
nr 1
117-125
PL
W artykule przedstawiono rozwiązania techniczne układów pozycjonowania podłoży pokrywanych cienkimi warstwami w procesach PVD. Opisano trzystopniowy obrotnik planetarny o elastycznej, zmiennej konfiguracji, układ z poziomą osią obrotu i rozwiązania przeznaczone do całkowitego pokrywania drobnych elementów osiowo symetrycznych.
EN
This article presents technical solutions for positioning substrates covered by thin layers in PVD processes. It describes a three-stage planetary positioner with flexible configuration with a hotizontal rotation axis. This article details solutions involving completely covering small symetrical elements.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.