Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 3

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: techniki plazmowe

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Wpływ reaktywnego trawienia jonowego wspomaganego plazmą BCl3 na jakość powierzchni węglika krzemu 4H-SiC

Stonio Bartłomiej, Kwietniewski Norbert, Firek Piotr, Słowikowski Mateusz, Pavłov Krystian, Caban Piotr, Sochacki Mariusz, Szmidt Jan

Przegląd Elektrotechniczny

2019

R. 95, nr 9

175--177

Jakość powierzchni materiałów po wykonaniu procesów technologicznych jest ważnym zagadnieniem niezbędnym do zoptymalizowania przy próbie wykonania dobrej jakości przyrzadów półprzewodnikowych. W zależnosci od parametrów procesu, jakość powierzchni się zmienia. W niniejszej pracy zaprezentowano wpływ parametrów suchego trawienia RIE (ang. reactive ion etching) wspomaganego plazmą BCl₃ na jakość powierzchni węglika krzemu 4H-SiC. Podczas prac modyfikowano moc dostarczaną do reaktora, ciśnienie w reaktorze stosunek gazów roboczyhc oraz czas trawania procesu. Powierzchnia materiału po trawieniu została zobrazowana za pomocą wysokorozdzielczego skaningowego mikroskopu elektronowego SEM (ang. scanning electron microscope). Chropowatość została zmierzona za pomocą mikroskopu sił atomowych AFM (ang. atomic force microscope).

The quality of material surface after technological process is one of the most important issue, during semiconductors device manufacturing. The quality of the surface is changing depending on parameters of process that was realized. This paper presents influence of the RIE (reactive ion etching) parameters using BCl3 plasma on the 4H-SiC surface quality. After the process, the SiC surface using high resolution SEM (scanning electron microscope) was investigated. The roughness of the surface was measured using AFM (atomic force microscopy).

The plasma technologies for the processing of carbon containing raw materials

Borysenko M., Lelyukh M., Petrov S., Zhovtyansky V., Chernets O., Korzhyk V., Marynsky G., Kostash S., Popov V.

Prace Instytutu Nafty i Gazu

2009

nr 162

52-57

The electric arc plasma equipment allows to reach the extreme temperatures in any technologies of carbon containing raw materials processing into gaseous products. In this connection our institutions carried out the environment-friendly technology and equipment for air and steam plasma gasification of medical waste as well as household waste or any other carbon containing raw materials. This technology guaranties destruction of thermally-stable bacteria and excludes the formation of dioxins and furans. The gaseous products, to be obtained in this process, may be used as alternative fuel or starting material for synthetic liquid fuels production. The modern level of prices on fuels and energy supply make it economically attractive. The technology of alternative fuel production may be considered automatically as environment-friendly one as it was developed from the equipment for destruction of medical waste.

Technika plazmowa w inżynierii materiałowej metali

Lis M., Woch M.

Rudy i Metale Nieżelazne

2008

R. 53, nr 5

291-296

Artykuł ma charakter przeglądowy i przedstawia aplikacyjne aspekty zastosowania plazmy i urządzeń plazmowych we współczesnej inżynierii materiałowej metali. W artykule opisano podstawowe właściwości plazmy, rodzaje urządzeń stosowanych w technice plazmowej oraz przykłady zastosowań tej techniki, głównie w metalurgii proszków i w inżynierii powierzchni. Uwzględniono doświadczenia własne, wynikające z rozwijania techniki plazmowej w Instytucie Metali Nieżelaznych.

The paper outlines the application aspects of using plasma and relevant plasma installations in contemporary materials engineering of metals. The basic plasma properties, types of the equipment used in plasma technique and the examples of application of his technique mainly in powder metallurgy and in surface engineering of metals, are presented. Our own experiences resulting from the development of plasma technique at the Institute of Non-Ferrous Metals have been described.