Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Inżynieria Biomateriałów

1 2005

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: technika MW/RF PCVD

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Wytwarzanie warstw węglowych w nowym reaktorze MW/RF

Kaczorowski W., Niedzielski P., Mitura S.

Inżynieria Biomateriałów

2005

R. 8, nr 43-44

28-31

Warstwy węglowe wytworzono metodą dwuczęstotliwościową (MW/RF PCVD - microwave and radio frequency plasma chemical vapor deposition) z zastosowaniem częstotliwości radiowej i mikrofalowej. Optymalizacja parametrów procesu umożliwiła nanoszenie jednorodnych powłok na stali AISI 316 L Warstwy zostały wytworzone przy wykorzystaniu różnych mieszanin gazów (metanu - CH4 albo metanu z argonem - CH4/Ar). Analiza morfologii i struktury uzyskanych powłok przeprowadzona została z wykorzystaniem technik: mikroskopu optycznego, skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) i mikroskopu sił atomowych (AFM). Do identyfikacji składu fazowego wytwarzanych warstw zastosowano spektroskopię ramanowską. W pracy tej zostały opisane szczegóły eksperymentu oraz uzyskane wyniki.

Carbon films were prepared in microwave and radio frequency plasma reactor using dual frequency method (MW/RF PCVD -microwave and radio frequency plasma chemical vapour deposition). The parameters of the deposition were optimised to get uniform films on the stainless steel AISI 316 L. These films were obtained from different mixtures of gases (methane - CH4 or methane/argon- CH4/Ar). Optical microscopy, scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) techniques were used to analyse the morphology and structure of deposited layers. Raman spectroscopy was performed to identify phases present in the films. In this paper experimental details and results were described.