Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: system detekcyjny

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

System detekcyjny elektronów wtórnych I wstecznie rozproszonych do obrazowania 3D w niskopróżniowej SEM

Słówko W., Krzysztof M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2012

Vol. 53, nr 2

34-36

Przedstawiono nowe rozwiązanie systemu detekcyjnego, przeznaczonego do kierunkowej detekcji elektronów w niskopróżniowej skaningowej mikroskopii elektronowej, w celu trójwymiarowej (3D) rekonstrukcji topografii powierzchni metodą wielodetektorową. Kluczowym zespołem systemu jest głowica próżniowo-detekcyjna, stanowiąca komorę pośrednią układu pompowania różnicowego, w której wnętrzu zainstalowano czterokwadrantową diodę PIN jako detektor elektronów wstecznie rozproszonych (BSE). Rolę detektora elektronów wtórnych (SE) typu jonizacyjnego, pełni przesłona dławiąca przepływ gazu. Pokazano, że w dyskutowanym rozwiązaniu można uzyskać kierunkową detekcję BSE, niezakłóconą w skutek rozpraszania w gazie jak i detekcję SE w szerokim zakresie ciśnień.

A new system for directional detection of electrons in low vacuum scanning electron microscopy (LVSEM) is presented. The system is destined for three dimensional (3D) reconstruction of the surface topography with the multi detector method. A main unit of the system is the vacuum-detection head playing the role of an intermediate chamber of the differential vacuum system and containing a four-quadrant PIN diode as the backscattered electron (BSE) detector. The role of a secondary electron (SE) detector of the ionization type is performed by the aperture throttling gas flow. Authors show that both the directional BSE detection undisturbed by scattering and SE detection can be obtained in a wide range of gas pressures.

Światłowodowe czujniki chemiczne

Dybko A., Wróblewski W., Brzózka Z.

Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Konferencje

1999

z. 18

22-33

W pracy przedstawiono budowę światłowodowych czujników chemicznych oraz podano odnośniki literaturowe z tej dziedziny. Zaprezentowano wybrane wyniki uzyskane w trakcie realizacji projektów badawczych w ramach Inżynierii Fotonicznej. Omówiono konstrukcję uniwersalnego systemu detekcyjnego służącego do wyznaczania parametrów spektralnych konstruowanych czujników i badania ich własności metrologicznych. Zamieszczono charakterystyki pomiarowe wybranych czujników chemicznych.