Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Przemysł Chemiczny

1 2012

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: synteza warstw diamentowych

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Zastosowanie skaningowej mikroskopii elektronowej i spektroskopii Ramana do badań warstw diamentowych o różnej jakości

Szulc A., Zorenko Y., Mosińska L.

Przemysł Chemiczny

2012

T. 91, nr 1

75-79

Prezentowane wyniki dotyczą syntezy warstw diamentowych z fazy gazowej. Zmiany morfologii uzyskano poprzez zmianę stosunku CH₄/H₂ w gazie roboczym. Syntezę warstw diamentowych przeprowadzono metodą syntezy z fazy gazowej przy użyciu reaktora pracującego w trybie plazmy termicznej typu HF CVD (hot filament chemical vapor deposition). Morfologię otrzymywanych warstw badano za pomocą skaningowej mikroskopii elektronowej SEM (scanning electron microscopy). Morfologia ta zmieniała się w szerokim zakresie, od morfologii typu (111) poprzez morfologię typu (100), aż do bardzo rozwiniętej morfologii typu ball-like. Do badania jakości (doskonałości struktury krystalicznej) otrzymywanych warstw diamentowych zastosowano spektroskopię Ramana. Zmiany morfologiczne znalazły odzwierciedlenie w widmach ramanowskich. Szerokość połówkowa FWHM (full width at half maximum) diamentowej linii Ramana zmieniała się w granicach 6,8–13,2 cm⁻¹ (FWHM monokryształu diamentu wynosi 2 cm⁻¹). Wraz ze wzrostem stosunku CH₄/H₂ w gazie roboczym oprócz amentowej linii ramanowskiej zaobserwowano również wzrost intensywności szerokiego pasma o maksimum w okolicy 1530–1580 cm⁻¹, świadczącego o obecności fazy węgla amorficznego. Otrzymane wyniki wyraźnie wskazują, że zarówno morfologia, jak i jakość warstw diamentowych mogą być kontrolowane poprzez zmianę stosunku węglowodoru do wodoru w gazie roboczym.

Thin diamond layers were deposited over a Si substrate by the hot filament chemical vapor deposition technique by using MeH and H₂ gas mixture. The layers were analyzed by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy. The diamond film morphol. and quality strongly depended on the MeH/H₂ ratio in the working gas. The films showed (111), (100) and ball-like morphol.