PL
 |
EN
Ograniczanie wyników
Czasopisma help
  1. 1 Przegląd Elektrotechniczny
Autorzy help
  1. 1 Worek Cezary
  2. 1 Zapart Mateusz
Lata help
  1. 1 2022
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  symulator NGSPICE
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
1
Content available remote Design and simulations of medium frequency power supply for plasma processing and magnetron sputtering
Zapart Mateusz, Worek Cezary
Przegląd Elektrotechniczny
|
2022
|
R. 98, nr 2
98--101
EN
The article presents a 4th order power converter of LCLC type. The presented solution works with a frequency of about 100 kHz, and the converter is designed to deliver supply to the magnetron. This unpopular topology has an output type that can be characterized as a current source, with the ability to generate high voltage without load, which is advantageous when used with plasma processes. Furthermore, LCLC topology in this application allows the use of slower control circuits, enabling the implementation of digital feedback loops using DSC microcontrollers.
PL
W artykule przedstawiono, przetwornicę z obwodem rezonansowym 4 rzędu typu LCLC, pracującą na częstotliwościach około 100 kHz przeznaczoną do zasilana magnetronu. Ta nietypowa topologia charakteryzuje się wyjściem o charakterze źródła prądowego z możliwością osiągnięcia wysokiego napięcia bez obciążenia, co jest zaletą w przypadku zasilania procesów plazmowych. Wiąże się również z mniejszymi wymaganiami dotyczącymi szybkości kontrolera, co pozwala na realizację cyfrowych pętli sprzężenia z wykorzystaniem mikrokontrolerów DSC
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.