Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Nanomodyfikacja powierzchniowa włókien filtracyjnych oparta na metodzie elektroprzędzenia z polimerów naturalnych

Kozłowski R., Ogurkowski C.

Przemysł Chemiczny

|

2008

|

T. 87, nr 12

1193-1196

2

The GD source of neutralized ion beam as a tool of surface nanomodification

Wilk J., Kowalski Z.

Przegląd Elektrotechniczny

|

2008

|

R. 84, nr 3

36-38

EN

The paper presents a simple and convenient source of neutralized ion beam as well as its use to surface nanomodification. Surface polishing, surface roughening, generation of surface and subsurface structure elements (waves, ripples) are discussed. All those events are especially crucial in such processes like ion-beam thinning of samples for TEM, sputter depth profiling, generation of patterns in sub-100 nm regime for micro/nanoelectronics.

PL

Artykuł prezentuje proste i użyteczne źródło zneutralizowanej wiązki jonów i jego zastosowanie do nanomodyfikacji powierzchni. Omówiono zagadnienia polerowania i chropowacenia powierzchni oraz generacji powierzchniowych i przypowierzchniowych elementów struktury (fale, zmarszczki). Znaczenie opisywanych zjawisk (procesów) jest szczególnie ważne w takich procesach jak jonowiązkowa preparatyka dla TEM, profilowanie głębokościowe z wykorzystaniem rozpylania jonowego, wytwarzanie submikrometrowych struktur dla mikro- i nanoelektroniki.

3

Surface nanomodification induced by a neutralized ion beam

Kowalski Z. W., Wilk J.

Materials Science Poland

|

2008

|

Vol. 26, No. 2

279--285

EN

The paper presents results of surface nanomodification induced by neutralized ion beam from the glow discharge ion gun with a hollow anode. Processes like surface polishing, surface roughening, generation of various surface/subsurface structure elements (e.g., waves, ripples) resulting from ion bombardment were investigated. All those events are crucial in such areas of science and technology as preparation (ion beam thinning and polishing) of samples for transmission electron microscopes; surface analysis where ion beam sputtering generating unwanted surface structures like e.g., waves is widely used in depth-profile analytical techniques such as secondary ion mass spectroscopy, Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, Rutherford backscattering spectrometry; formation of patterns in sub-100 nm regime for micro/nanoelectronics where reduction of line etch roughness (LER) must be taken into account (as semiconductor dimensions shrink, LER will be more important because roughness from the resist is transferred to the substrate with further processing steps).

4

Źródło zneutralizowanej wiązki jonów i możliwości jego zastosowania do mikro- i nanomodyfikacji powierzchni stali i tytanu

Wilk J., Kamiński K., Kowalski Z. W.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2007

|

Vol. 48, nr 10

58-60

PL

Zaprezentowano wyniki badań jarzeniowej wyrzutni z wnękową anodą, będącej źródłem zneutralizowanej wiązki jonów argonu i kryptonu, których celem była optymalizacja konstrukcji układu elektrod i warunków pracy urządzenia oraz ocena możliwości jego zastosowania do modyfikacji właściwości morfologicznych powierzchni stali nierdzewnej i tytanu w skali mikro- i nanometrowej. Zneutralizowaną wiązkę z powodzeniem stosowano do zwiększania chropowatości powierzchni, do jej polerowania jonowego, do trawienia jonowego celem zmniejszenia grubości próbki (ion thinning), a także do ujawniania ziaren, granic międzyziarnowych, porów, pustek itp. (wyniki prezentowano wcześniej).

EN

The article presents results of studies on glow discharge (GD) ion gun with hollow anode which is the source of neutralized argon and krypton ion beam. The investigation aim was optimisation of electrode system and working conditions of the gun as well as evaluation of possibilities to use the gun to surface morphological properties modification of stainless steel and titanium in micro- and nanoscale. The neutralized beam was successfully applied to surface roughening, surface polishing, sample thinning as well as revealing of grain and grain boundaries, pores, voids, etc. (results were presented elsewhere).