W artykule przedstawiono możliwości wykorzystania fal termicznych do badania właściwości cienkich warstw materiałów supertwardych. Opisano podstawowe właściwości fal termicznych i zaprezentowano przykładowe wyniki pomiarów. Wykazano możliwość obrazowania struktury warstwy i podłoża, na które warstwa została naniesiona, analizy jednorodności grubości warstwy i pomiaru właściwości cieplnych warstw.
EN
Possibilities of using thermal waves for investigations of superhard films are presented. Basic properties of thermal waves are described and exemplary experimental results are presented. Possibilities of applying thermal waves for imaging of structure of the film and substrate, for analyzing of film thickness homogeneity and for determination of thermal properties of thin films are shown.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.