Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: structure of fix-up

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Układ próżniowy urządzenia do epitaksji z wiązek molekularnych

Cyrański R., Marks J., Kaufman E., Sobolewski A., Pastuszka B.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2001

Vol. 42, nr 8-9

102-103

The construction of the MBE system for growth the semiconductor thin film in the high and ultra high vacuum conditions has been presented. This system consists of mainly technological and loading chambers with technical equipments for operation the epitaxy process. To the pumping of the chambers the turbomolecular with diaphram pumps and the ion pumps are used.