Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Zastosowanie cienkich warstw metali i ich tlenków w preparatyce próbek do badań z zastosowaniem skaningowej mikroskopii elektronowej

Grudniewski T., Chodyka M., Czernik S., Plewik D.

TTS Technika Transportu Szynowego

|

2015

|

R. 22, nr 12

620--626, CD

PL

Skaningowa mikroskopia elektronowa wymaga aby próbka była przewodząca, lub pokryta warstwą przewodzącego materiału. Pomimo tego że złoto jest metalem najczęściej używanym do pokrywania próbek, jest także bardzo drogie, więc autorzy postanowili sprawdzić czy inne metale lub stopy metali będą nadawać się do pokrywania próbek. Próbki były pokrywane w procesie sputteringu magnetronowego przy pomocy urządzenia LINE 440 (Alliance Concept), a obserwacje przeprowadzone na mikroskopie Hitachi TM3000. Próbki były pokryte miedzią, stopem miedzi i galu, cyną i tlenkiem cyny. Obrazy otrzymane w czasie eksperymentu były porównywalne z próbkami pokrytymi złotem.

EN

Paper discussed the impact of alcohol on the psychophysical properties of human and its metabolism. Particular attention was paid to the influence of alcohol on driving ability. Authors proposed action to be taken to reduce.

2

Wytwarzanie ultra cienkich warstw z wykorzystaniem line 440 sputtering system

Lubańska Z., Grudniewski T., Chodyka M.

TTS Technika Transportu Szynowego

|

2015

|

R. 22, nr 12

2693--2695

PL

W artykule omówiono jedną z możliwych technik nanoszenia cienkich warstw na podłoża szklane jaką jest sputtering magnetronowy. Metoda polega na nanoszeniu na przygotowane podłoża, materiałów w wyniku rozpylania plazmowego. LINE 440 jest aparaturą najnowszej generacji wykorzystywaną do celów naukowo-badawczych w Centrum Badań nad Innowacjami przy Państwowej Szkole Wyższej w Białej Podlaskiej.

EN

The article describes one of the possible techniques for thin films preparation on glass substrates. The method involves applying to the surface of sample externally controlled media, which is sprayed in a magnetic field and then deposited onto a substrate. Line 440 is the latest generation apparatus used for the purposes of research at the Center for Innovation Research at the State School in Biala Podlaska.

3

Analiza wpływu trawienia powierzchni w procesie sputteringu magnetronowego

Grudniewski T., Chodyka M., Lubańska Z.

TTS Technika Transportu Szynowego

|

2015

|

R. 22, nr 12

624--626, CD

PL

W prezentowanym artykule, autorzy starają się zwrócić uwagę na proces wstępnego przygotowania próbek do nanoszenia warstw metodą sputteringu magnetronowego. Wykorzystywaną metodą w urządzeniu, na którym przeprowadzono badania proces ten polega na bombardowaniu powierzchni próbki plazmą i wytrawianiu jej górnych warstw. Autorzy postanowili zatem zbadać jaki wpływ ma trawienie na próbkę oraz czy wybite z próbki atomy materiału mogą być osadzone na innym podłożu. Dodatkowo przeanalizowano jedną z możliwości modyfikacji kształtu plazmy poprzez wprowadzenie, do komory roboczej, bardzo silnych magnesów.

EN

In this paper, the authors pay attention to the pre-treatment process for creating layers by magnetron sputtering. The method used by the device on which the study was conducted involves bombarding the sample surface plasma and etching the upper layers. The authors therefore decided to investigate what impact the digestion of the sample has and whether the sample atoms knocked out of the material can be embedded on other substrates. In addition, one possible modification of the plasma shape was analyzed by introducing very strong magnets into the working chamber.

4

Charakterystyka AFM cienkich warstw SnO2 uzyskanych podczas sputteringu magnetronowego przy wybranych warunkach procesu

Grudniewski T., Lubańska Z., Czernik S.

Czasopismo Inżynierii Lądowej, Środowiska i Architektury / Journal of Civil Engineering, Environment and Architecture

|

2015

|

z. 62, nr 2

99--106

PL

Mikroskopia sił atomowych (AFM-Atomic Force Microscopy) znajduje obecnie szerokie zastosowanie w dziedzinie charakteryzacji materiałów elektronicznych [1,2]. Oprócz precyzyjnego pomiaru topografii powierzchni z rozdzielczością umożliwiającą obserwowanie warstw atomowych, współczesne urządzenia tego typu oferują wiele dodatkowych możliwości, obejmujących badanie właściwości elektrycznych, magnetycznych jak i zmian zachodzących przy wahaniach temperatury. Jednym z zastosowań może być charakteryzacja otrzymanych warstw na podstawie obserwowanych obrazów struktur oraz powiązanie obserwowanej struktury z parametrami elektro-optycznymi. Szczególnie interesujące są struktury przewodzące prąd, przeźroczyste oraz takie, które absorbują jak najwięcej energii z padającego promieniowania [3-7]. Autorzy w niniejszej pracy wykonali badania metodą mikroskopii sił atomowych (AFM NT-MDT Ntegra Spectra C – Rys.1.) cienkich warstw SnO2 otrzymanych w procesie napylania w Line 440 Alliance Concept. Postanowiono zbadać zależności pomiędzy topografią warstw a temperaturą procesu napylania, ilością gazów biorących udział w procesie oraz równolegle własnościami elektrycznymi. Starano się odszukać zależności umożliwiające charakteryzowanie parametrów elektro-optycznych warstw SnO2 (uzyskiwanych w różnych temperaturach) w oparciu o obrazy pozyskane techniką AFM. Autorzy uważają, że badania struktur z wykorzystaniem AFM usprawnią dobór procesów napylania celem otrzymania oczekiwanych własności elektrycznych i optycznych. Otrzymane podczas prac rezultaty pozwalają na chwilę obecną skorelować własności elektro-optyczne warstw z ich topografią oraz procesami wytwarzania. Przeprowadzone eksperymenty pozwoliły w fazie finalnej na otrzyanie przezroczystych tlenków SnO2 o zakładanej rezystancji.

EN

Atomic force microscopy is one of the most popular method used in surface imaging. This method allows to measure the surface topography and determine the dimensions of the structures in the subatomic resolution [1]. Due to its properties, it can be applied to the measurement of conductors and semiconductor surfaces prepared in various processes. The experiment is focused on SnO2 and ITO thin layers which can be used as transparent electrodes [2]. The authors are trying to illustrate the correlation between process parameters - creation of semiconductor in magnetron sputtering by different process conditions (temperature and cooling process, gas pressure and composition), surface of the sample and its other electro-optical parameters. The authors of this research performed experiments using atomic force microscope (AFM NT-MDT Ntegra Spectra C - Fig.1.). SnO2 thin films were prepared in a sputtering system Line 440 Alliance Concept. It was decided to examine the relationship between the topography of the layers and the temperature of the sputtering process, the amount of gas involved in the process and parallel electrical properties. Attempts were made to find a relationship permitting the characterization of the electro-optical parameters SnO2 layer (obtained at different temperatures) based on the obtained AFM images. The authors believe that the study of structures using AFM facilitate the selection process in order to obtain the expected sputtering electrical and optical properties. Results obtained during the work permit at the moment correlate the electro-optical properties of the layers of their topography and manufacturing processes.

5

Próba modyfikacji własności warstw otrzymywanych w procesie sputteringu magnetronowego z wykorzystaniem elementów sterowanych zewnętrznie

Grudniewski T., Czernik S., Lubańska Z., Lichograj R., Lichograj P.

Czasopismo Inżynierii Lądowej, Środowiska i Architektury / Journal of Civil Engineering, Environment and Architecture

|

2014

|

z. 61, nr 3/II

195--202

PL

Sputtering magnetronowy jest techniką napylania warstw zdobywającą coraz większe zainteresowanie w procesach wytwarzania elementów elektronowych i ogniw fotowoltaicznych. Celem prezentowanych w artykule prac badawczych, była analiza możliwości modyfikacji składu i topografii warstw otrzymywanych w procesie sputteringu magnetronowego z wykorzystaniem elementów sterowanych zewnętrznie. Rolą wprowadzonych do układu elementów zewnętrznych było zaburzenie procesu nanoszenia warstw. Zaburzenie nanoszenia warstw może skutkować pozytywnie, powodując większe uporządkowanie struktury warstwy lub bardziej jednolitą powierzchnię, lub negatywnie - całkowicie uniemożliwiając prawidłowe napylenie warstwy. Oba rezultaty są pożądane z punktu widzenia zastosowań produkcyjnych. Z jednej strony poszukuje się cienkich i jednolitych warstw, a z drugiej - warstw o zmodyfikowanej topografii. W czasie eksperymentów autorzy użyli siatek stalowych oraz przewodników miedzianych umieszczonych w wybranych odległościach od siebie jak i podłoża, a następnie napylali miedź na powierzchnię płytek ze szkła laboratoryjnego. Następnie próbki zostały przebadane przy pomocy mikrosondy wykrywającej skład atomowy substancji i mikroskopu sił atomowych celem analizy zmian w topografii. Autorzy spodziewali się otrzymać warstwy o zwiększonej powierzchni aktywnej. Zgodnie z przewidywaniami autorów otrzymane warstwy okazały się znacznie cieńsze. Interesujący jest natomiast fakt, że ich struktura była bardziej uporządkowana niż na próbce referencyjnej, a ich chropowatość znacznie mniejsza. Podczas eksperymentów nie doszło także do wybijania materiału z dodatkowych elementów wprowadzonych do układu.

EN

Magnetron sputtering is a technic to spray sheets that acquire more interests in electronics and photovoltaic fabrication. The aim of the research presented in present paper was to analyze the possibility of modifying of the layers obtained by the magnetron sputtering - using elements controlled externally. Those elements can modify obtained layers in two different ways: positive by greater orderliness of structure or more uniform surface, or negative causing gaps in sputtered coating. Both results are desirable from the applications point of view. On the one hand seeking to thin and uniform layers on the other layers of the modified topography. During the experiments, the authors used a wire mesh and copper conductors located in some distance from each other and the substrate. Then the samples were tested using the SEM microscope witch detection probe that allow to detect the layer composition substances and atomic force microscope for analysis of changes in topography. Authors hoped to achieve layers with greater active surface area. As authors suspected, sputtered layers were a lot thinner. Interesting fact is that their structure was a lot more ordered than the reference sample, and their roughness was smaller. During the experiment there was no material extraction from additional elements.