Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Dobór parametrów procesu wytwarzania sprzęgaczy siatkowych struktur fotonicznych przy zastosowaniu techniki trawienia skupioną wiązką jonową

Salamon N., Lisik Z.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2012

|

Vol. 53, nr 9

71-73

PL

W artykule zaprezentowany został sposób wytwarzania sprzęgaczy siatkowych struktur fotonicznych, przy zastosowaniu techniki trawienia skupioną wiązką jonową. Struktury te miały pełnić funkcję wprowadzania światła do ścieżek optycznych w układach scalonych. Z uwagi na nietypową geometrię sprzęgaczy, wykonanie ich przy zastosowaniu typowej technologii fotolitografii jest niemożliwe. Z tego powodu do procesu produkcji oraz analizy wyników wykorzystano urządzenie Dual Beam, łączące w sobie zarówno system skupionej wiązki jonowej FIB (Focused Ion Beam), jak i mikroskop elektronowy SEM (Scanning Electron Microscopy).

EN

The work presented in this paper was aimed at fabricating special grating couplers for photonic applications using a focused ion beam technology. Because of the fact that the fabrication of these structures with an assistance of the traditional photolithography was impossible due to their non - standard geometry, the FIB technology had been used. All the investigations were made using a Dual Beam system which is a type of the FIB combining both, the FIB and the SEM (Scanning Electron Microscopy) in a single system, which expands the capabilities of the FIB by the possibility of performing electron beam assisted inspection and deposition, which is less harmful than using the ion beam.

2

Struktury fotoniczne na bazie ZnO

Pustelny T., Struk P., Gołaszewska K., Ekielski M., Borysiewicz M., Piotrowska A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2011

|

Vol. 52, nr 9

30-32

PL

W artykule przedstawiono badania struktur fotonicznych ze sprzęgaczami siatkowymi. W pierwszej części artykułu przedstawiono zastosowanie powyższych struktur w układach optyki zintegrowanej jako układów wejścia-wyjścia oraz w strukturach sensorowych. W drugiej części artykułu przedstawiono badania tlenku cynku ZnO - transmitancji widmowej oraz badania wykonanej struktury fotonicznej ze sprzęgaczem siatkowym.

EN

The article presents the study of photonic structures with grating coupler. The first part presents the application of these structures in integrated optics systems as input - output system for the light and sensors structures. The second part presents the study of zinc oxide ZnO - spectral transmittance and research of photonics structures with grating coupler.

3

Optymalizacja planarnych sprzęgaczy siatkowych z wykorzystaniem metody FDTD

Struk P., Pustelny T.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2010

|

Vol. 51, nr 6

69-72

PL

W artykule przedstawiono rezultaty analiz numerycznych struktur optyki zintegrowanej w postaci planarnych sprzęgaczy siatkowych. Sprzęgacze siatkowe o różnych okresach siatki Λ analizowano jako periodyczne zaburzenia współczynnika załamania wykonane w warstwie falowodowej. Analizy numeryczne przeprowadzono dla warstw falowodowych jednomodowych o dużym współczynniku załamania n=2. Badania numeryczne miały na celu zbadanie wpływu głębokości periodów sprzęgacza siatkowego ds na efektywność wprowadzania i wyprowadzania mocy optycznej ze struktury falowodowej. Badania numeryczne przeprowadzono za pomocą metody różnic skończonych w dziedzinie czasu FDTD (Finite Difference Time Domain).

EN

This paper presents numerical analysis of integrated optics devics specially planar grating couplers. Grating couplers of different grat periods Λ were analyzed as periodic light refractive index disturbarance in waveguide layer. Numerical analyses were conducted for waveguide layers of light refractive index n=2, both single mode. Main goal of research was to examine influence of grating coupler periods depth on effectiveness of coupling optical power in and out of the waveguide structure. For numerical analysis Finite Difference Time Domain (FDTD) metod was used.