Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Analiza profilowa SIMS półprzewodnikowych struktur laserowych

Ćwil M., Konarski P.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2005

|

Vol. 46, nr 2-3

29-31

PL

Zaprezentowano analizy profilowe struktur laserowych otrzymanych metodą epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) w Instytucie Technologii Elektronowej w Warszawie. Analizy profilowe wykonano metodą spektrometrii mas jonów wtórnych (SIMS), stosując aparaturę SAJW-05 wyposażoną w kwadrupolowy spektrometr mas oraz wyrzutnię jonów Ar⁺. Stosowano wiązki jonów o energiach 880...5000 eV i różnych kątach padania. Badanie warstwy o grubości 8 nm zawierającej ind, na głębokości 1,59 µm struktury, pozwoliło na uzyskanie głębokościowej zdolności rozdzielczej 7 nm.

EN

Secondary ion mass spectrometry (SIMS) depth profile analyses of laser structures grown with the use of molecular beam epitaxy (MBE) were performed on SAJW-05 analyzer equipped with quadrupole mass analyzer and electron bombardment ion gun. Argon ion beams of energies 880 eV and 5 keV and various incidence angles were performed. 8 nm thick indium reach layer buried at a depth ot 1.59 µm of a structure resulted in depth profile resolution of 7 nm.

2

Analiza profilowa SIMS w zastosowaniu do badań nanostruktur warstwowych

Konarski P., Ćwil M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2004

|

Vol. 45, nr 6

10-13

PL

Przedstawiono aparaturę badawczą SAJW-05 przeznaczoną do analizy profilowej struktur warstwowych metodą spektrometrii mas jonów wtórnych (SIMS) oraz przykładowe wyniki jej zastosowania do analizy różnorodnych struktur warstwowych. Badano struktury: lasera półprzewodnikowego InAlGaAs/GaAs o grubości warstw 3,7 um, otrzymaną metodą epitaksji z wiązek molekularnych (MBE), wielowarstwową nanostrukturę B₄C/Mo/Si o grubości warstw 20 nm, otrzymaną metodą naparowania chemicznego (CVD), a także warstwy ochronne TiN i CrN nanoszone metodą plazmową na powierzchnię stali. Zaprezentowano wyniki uzyskane przy różnych parametrach wiązki trawiącej.

EN

Research instrument SAJW-05 designed for secondary ion mass spectrometry (SIMS) depth profile analysis is presented together with the examples of its application. Analysed layered systems were: semiconductor laser structure InAlGaAs/GaAs of total thickness 3.7 um obtained by molecular beam epitaxy (MBE) multilayer nanostructure B₄C/Mo/Si of total thickness 20 nm obtained by chemical vapour deposition (CVD) and Ti-Cr-N coatings on steel formed by condensation method from a plasma phase. Depth profile analyses were performed using different sputtering conditions. Ultra-low energy bombardment of B₄C/Mo/Si structure resulted in subnanometer depth profile resolution.

3

Analiza profilowa mikro- i nanocząsteczek pyłów i dymów

Konarski P., Iwanejko I., Mierzejewska A., Ćwil M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2002

|

Vol. 43, nr 12

42-45

PL

Cząstki pyłów i dymów spawalniczych badano stosując technikę trawienia jonowego w spektrometrii mas jonów wtórnych (SIMS). Drobiny były zbierane w trakcie prowadzenia procesów spawania stali trzema różnymi technikami: metodą wiązki elektronowej (E), w osłonie argonowej (TIG) oraz elektrodą otuloną (EO). Badano drobiny o średnicach poniżej 100 μm, zebrane w komorze próżniowej a także o średnicach 300 nm - 400 nm pobrane przez dziewięciostopniowy kolektor pytów typu impaktor w trakcie spawania TIG i EO.

EN

Welding fume particles were analysed using low energy ion erosion in secondary ion mass spectrometry (SIMS). The particles were collected during welding process of steel performed with three different techniques: electron beam welding (EBW), tungsten inert gas welding (TIG) and shielded metal arc welding (SMAW). 300 nm - 400 nm diameter fraction of particles emitted into atmosphere was separated using nine-stage impactor. Ion erosion of particles was performed with 2 keV, 100 μm diameter, Ar+ ion beam. The results show that all three types of particles have core-shell morphology. Particles formed in vacuum (EBW) have shell enriehed in oxygen, fluorine, chlorine, and potassium, with respect to the core composed mainly of iron, chromium and manganese. TIG particles are more oxidised than EBW particles. Chlorine and fluorine dominate in the shell however their concentration in the core is higher than in EBW particles. SMAW particles are oxidised much more than two other types of particles. Shell is reach of chlorides, fluorides and potassium while the core is composed mainly of iron, chromium and manganese oxides.