W artykule opisano zjawisko rozproszenia światła od powierzchni chropowatej. Pokazano możliwość obliczenia powierzchniowej chropowatości RMS z pomiaru TIS oraz z pomiaru BSDF. Opisano skaterometr uScan SMS oraz przedstawiono wyniki pomiarowe chropowatości powierzchni RMS uzyskane za pomocą tego skaterometru dla kilku wybranych materiałów.
EN
The light scattering from the rought surface is described. The possibility of calculation of the RMS surface roughness from the TIS and BSDF measurements is shown. The [mi]Scan SMS scatterometer is described and the measurement results of the RMS surface roughness obtained using the scatterometer for few selected materials are presented.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.