Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Development of deposition technology and ACmeasurement of copper ultrathin layers

Wilczyńska Aleksandra, Czarnacka Karolina, Kociubiński Andrzej, Kołtunowicz Tomasz N.

Informatyka, Automatyka, Pomiary w Gospodarce i Ochronie Środowiska

|

2022

|

T. 12, nr 1

36--39

EN

In this paper, the transport properties of discontinuous 4 nm copper layers obtained by dual-source non-reactive magnetron sputtering in the presence of argon are presented. The value of resistance and capacitance of the current parallel to the plane of these layers can be adjusted independently by changing the nominal thickness of the metallization. The influence of frequency on the conductivity of the obtained structures in the range from 4 Hz to 8 MHz was studied. Additionally, in order to compare the non-oxidized and oxidized layers, some of them were heated at 500°C. Based on the results obtained, the mechanism of electric charge transfer was determined, the knowledge of which is essential for planning further experiments based on this sputtering method and potential selection of future application of the structures. Statistical measurements at room temperature will serve as a reference for the conductivity and resistivity values obtained by mathematical calculations from measurements of resistance, capacitance, phase shift angle, and dielectric loss tangent as a function of temperature from 20 K to 375 K, which are expected in further studies on the obtained structures. The work is an introduction to the technology of obtaining multi-layer metal-dielectric structures

PL

W niniejszej pracy przedstawione zostały właściwości transportowe nieciągłych 4 nm warstw miedzi otrzymanych metodą dwuźródłowego niereaktywnego rozpylania magnetronowego w obecności argonu. Wartość rezystancji i pojemności prądu równoległego do płaszczyzny tych warstw można dostrajać niezależnie poprzez zmianę nominalnej grubości metalizacji. Przebadano wpływ częstotliwości na konduktywność otrzymanych struktur w zakresie od 4 Hz do 8 MHz. Dodatkowo, w celu porównania nieutlenionych i utlenionych warstw niektóre z nich zostały wygrzane w temperaturze 500°C. Na podstawie otrzymanych wyników określono mechanizm przenoszenia ładunków elektrycznych, którego znajomość jest niezbędna do planowania kolejnych eksperymentów bazujących na tej metodzie napylania oraz potencjalnym doborze przyszłego zastosowania struktur. Statystyczne pomiary w temperaturze pokojowej posłużą za punkt odniesienia dla wartości konduktywności i rezystywności otrzymanych na drodze obliczeń matematycznych z pomiarów rezystancji, pojemności, kąta przesunięcia fazowego oraz tangensa strat dielektrycznych w funkcji temperatury od 20 K do 375 K, które przewidywane są w dalszej części badań nad otrzymanymi strukturami. Praca stanowi wstęp do technologii otrzymywania wielowarstwowych struktur typu metal-dielektryk.

2

Sposoby realizacji pomiarów konduktywności elektrycznej materiałów za pomocą przetworników indukcyjnościowych jednocewkowych

Augustyn J., Kuśmierz J.

Pomiary Automatyka Kontrola

|

2013

|

R. 59, nr 4

326--329

PL

W pracy przedstawiono dwa sposoby realizacji bezstykowych pomiarów konduktywności elektrycznej materiałów z wykorzystaniem przetwornika indukcyjnościowego o strukturze jednocewkowej. Pierwszy sposób oparty jest na metodzie algorytmicznej pomiaru impedancji, w drugim natomiast impedancja określana jest za pomocą cyfrowego sytemu pomiarowego opartego na porównaniu napięć.

EN

In this paper two ways of implementing contactless measurements of electrical conductivity of materials with use of an inductive sensor of one-coil structure are presented. The first method is based on algorithmic approach to the impedance measurement, while in the second method the impedance is determined in a measurement system by comparing the voltages. The starting point for determining the conductivity value from formula (2) is determination of the parameter δ value based on the conversion characteristic (Fig. 1) and calculation of the absolute value of the impedance ratio (1). There are presented some algorithms based on the digital signal processing for evaluation of the impedance components in a measurement circuit with a two-channel acquisition card. The two methods adapt algorithms fit to a sine or fit to ellipse. The third one uses the algorithm of a digital lock-in amplifier to determine the impedance components. Furthermore, a system for measuring the impedance components in a one coil transducer based on a technical method - the method of three voltmeters is presented (Fig. 2).

3

Pomiary konduktywności roztworów przewodzących z wykorzystaniem dwucewkowego przetwornika indukcyjnościowego

Kuśnierz J.

Przegląd Elektrotechniczny

|

2007

|

R. 83, nr 6

81-87

PL

W artykule przedstawiono model matematyczny – w postaci tzw. funkcji przetwarzania – przetwornika indukcyjnościowego o strukturze dwucewkowej. Metoda obliczeniowa bazująca na przekształceniach całkowych Fouriera umożliwia wyznaczenie funkcji przetwarzania przetwornika w postaci zależności wiążącej zmianę napięcia obserwowanego na zaciskach cewki pomiarowej przetwornika z konduktywnością badanego roztworu, częstotliwością prądu zasilającego cewkę wzbudzenia przetwornika i jego wymiarami geometrycznymi. Zaprezentowane wyniki obliczeń – częściowo zweryfikowane w drodze pomiarów doświadczalnych – pozwalają na optymalizację konstrukcji przetwornika.

EN

The paper presents a mathematical model – in the form of a processing function – of a double-coil inductive transducer. A computational method based on integral Fourier transforms enables us to determine a processing function of the transducer in the form of a dependence between the change of voltage observed at terminals of measurement coil of the transducer and the conductivity of the investigated solution, the frequency of current supplying the exciting coil of the transducer, and its geometrical dimensions. The presented results of computations – partially verified by experimental measurements – enable us to optimize the construction of the transducer.

4

Bezstykowe pomiary konduktywności materiałów przewodzących za pomocą przetworników indukcyjnościowych

Kuśmierz J.

Zeszyty Naukowe Politechniki Świętokrzyskiej. Elektryka

|

2005

|

Z. 43

97-102

PL

W artykule przedstawiono wyniki obliczeń umożliwiające projektowanie przetworników indukcyjnościowych dwucewkowych oraz układów pomiarowych do bezstykowego pomiaru konduktywności materiałów przewodzących w postaci próbek walcowych niezależnie od zmian ich średnicy. Uzyskane wyniki umożliwiają również realizację pomiaru konduktywności w sposób bezwzględny, tzn. bez uprzedniego wzorcowania układu pomiarowego.

EN

Numerical calculations for designing double-coil inductive transducers and measurement systems for non-contact measurement of conductivity of conductive materials in the form of cylindrical samples irrespectively of the change of their diameters have been presented. The results obtained enable us to perform the conductivity measurements in an absolute way, that is, without prior calibration of the measurement system.