Wyznaczanie własności cieplnych cienkich warstw jest stosunkowo trudnym problem. Największe trudności sprawiają pomiary dla warstw naniesionych na grube podłoża. W artykule przedstawiono przegląd metod, które są wykorzystywane w takich pomiarach. Szczególną uwagę zwrócono na metody opracowane i stosowane w Instytucie Fizyki Politechniki Śląskiej. Przeanalizowano również możliwości przedstawionych technik pomiarowych.
EN
Determination of thermal properties of thin films is rather complicated problem. The greatest difficulties cause measurements for films deposited on thick substrates. In the paper a review of methods using in such measurements is done. Special attention is paid to photothermal methods elaborated and applied in Institute of Physics, Silesian University of Technology. Analysis of potentialities of presented measuring techniques is also carried out.
Na podstawie wcześniej opracowanego modelu teoretycznego przeanalizowano możliwości metody wyznaczania oporu cieplnego cienkich warstw. Zbadano wpływ parametrów opisujących układ pomiarowy na czułość metody, rozumianą jako zdolność do pomiaru możliwie małych oporów cieplnych. Sformułowano wnioski dotyczące optymalnej konfiguracji układu pomiarowego.
EN
Basing on earlier of developed theoretical model potentialities of photothermal method for determination of thermal resistance of thin films are analysed. Influence of parameters describing experimental setup on sensitivity of the method is investigated. The sensitivity means potentiality to determine as small thermal resistance as possible. Conclusions about optimal configuration of experimental setup are drawn.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.