Zaprezentowano metodę trójwymiarowe] wizualizacji kształtu powierzchni płytek podłożowych i tworzenia map naprężeń w warstwach na nich osadzanych na przykładzie podłóż hybrydowych Si (lub SiC]/SiO2/poli-SiC. Metoda ta wykorzystuje komercyjne urządzenie do pomiaru naprężeń, Tencor FLX 2320, którego funkcjonalność poszerzono we własnym zakresie.
EN
A method of 3D visualisation of wafer surface deflection and of maps of stress in thin films deposited on the wafers is presented. In the method we make use of a commercial Tencor FLX 2320 stress measurement system, whose characterisation capabilities were upgrader by own means.
2
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
Przedstawiono podstawowe dane techniczne przyrządów do pomiaru chropowatości i kształtu powierzchni oraz zakresy analizy danych wykonywanych za pomocą programów PROFIL i KSZTAŁT, dołączonych do profilografometru PGM-IC i kształtografu PG-2/200. Omówiono także możliwości pomiarowe przenośnego profilometru PM-02C.
EN
Basic technical data of instruments for measuring roughness and shape of a surface. Scopes of analyses of data performed by means of programs PROFIL and KSZTAŁT connected to the profile measurement gauge PGM-IC and the shape analyser PG-2/200. Measurement possibilities of a mobile profile measurement gauge PM-02C.
3
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
W referacie są omówione założenia projektowe i doświadczenia eksploatacyjne dwu nowych przenośnych przyrządów pomiarowych do pomiaru powierzchni tocznej kół. Jeden z nich przeznaczony jest do pomiaru parametrów geometrycznych profilu koła - Ow, Og i QR ; używać go można jako elektronicznej suwmiarki. Drugi z przyrządów służy do ciągłego pomiaru profilu koła, zmierzone profile są następnie analizowane za pomocą dedykowanego oprogramowania na komputerze PC. Przedstawiono wyniki pomiarów przeprowadzonych w polowych warunkach eksploatacyjnych.
EN
The paper presents the design requirements and experience gained during the experimental employment of the two novel portable gauges for mesuring the profile of the running surfaces of wheels. One of them is designed for measuring the geometrical parameters of wheel-Ow, Og, QR, it may be used as an electronic gauge. The second gauge is used for the continuous measurement of the wheel profile, measured profiles are later analysed by means of the dedicated PC software package. Results of measurements made in the field conditions are presented.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.