Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Prace Instytutu Elektrotechniki

1 2010

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: pojemności rozproszenia

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Biblioteka Metody Elementów Brzegowych "BEMLAB" w zastosowaniach MEMS

Wieleba P., Sikora J.

Prace Instytutu Elektrotechniki

2010

Z. 246

195-207

Artykuł przedstawia obiektową bibliotekę numeryczną "BEMLAB" w zastosowaniach modelowania mikrostruktur MEMS (ang. Micro-Electro-Mechanical Systems). Pakiet BEMLAB zawiera bibliotekę numeryczną implementującą metodę elementów brzegowych (ang. Boundary Element Method - BEM) oraz referencyjną aplikację umożliwiającą jej bezpośrednie użycie do wykonywania obliczeń. Mikrostruktury MEMS są urządzeniami elektromechanicznymi o wymiarach od 0,1 µm do 0,1 mm. W artykule zaprezentowano modelowanie kondensatora grzebieniowego, wykorzystywanego w pionowych aktuatorach o napędzie kątowym (ang. Angular Vertical Comb Drive - AVC). Przedstawiono modele brzegowe dwuwymiarowe oraz opis matematyczny. Obliczenia pojemności zostały również wykonane przy użyciu oprogramowania BEMLAB, wykorzystując jej mechanizm całkowania siatki elementów. Porównano również obliczenia polowe pojemności z obliczeniami modelu uproszczonego.

This article presents objective and open source Boundary Element Method (BEM) library "BEMLAB" in application of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) modeling. BEMLAB package contains numerical library implementing BEM and ready to use reference computer application. MEMS term applies to micro-machines which dimensions are between 0.1 µm to 0.1 mm. The article presents vertical comb capacitors modeling by the example of capacitors used in Angular Vertical Comb drives. Boundary element models in two dimensions are considered. Boundary models and mathematical description were presented. Field calculations were done using title BEMLAB library. Capacity calculations were also done using integration feature of BEMLAB computer application. Moreover comparison between a boundary field model and a simplified condenser model were done.