Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 2006

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: podłoże ze szkła kwarcowego

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Badania nad syntezą warstw ZrO2+Y2O3 metodą MOCVD

Sawka A., Kwatera A., Andreasik P., Juda W.

Inżynieria Materiałowa

2006

Vol. 27, nr 5

1218-1219

W pracy przedstawiono wyniki wstępnych badań nad syntezą warstw Zr02+Y203 za pomocą metody MOCVD (Metal Organie Chemical Vapour Deposition) z użyciem acetyloacetonianu cyrkonu oraz tetrametyloheptadionianu itru na podłożach ze szkła kwarcowego. I Gazem nośnym była mieszanina argonu i powietrza. Temperaturę parowania Zr(acac)4 zmieniano w zakresie 140-160°C, zaś temperaturę parowania Y(tmhd)3 w zakresie 130-160 °C. Temperaturę podłoża zmieniano w zakresie 500-650 °C. Ciśnienie gazów w reaktorze wynosiło 140 - 10 000 Pa. Pozostałe parametry procesu dobierano tak, by wartość wyrażenia Grx/Rex2 była niższa niż 0,001. Zbadano skład chemiczny i mikrostrukturę otrzymanych warstw. Praca związana jest z opracowywaniem kompozytowego elektrolitu dla tlenkowych ogniw paliwowych nowej generacji.

In the paper results of initial research on synthesis of Z1O2+Y2O3 layers by MOCVD method using Zr(acac)4 and Y(tmhd)3 on quartz glass substrates are presented. The mixture of argon and air was used as a carrier gas. Evaporation | temperature of Zr(acac)4 was changed in the range of 140-160°C and evaoration temperature of Y(tmhd)3 in the range of 130-160°C. The) temperature of substrate was changed from 500° to 650°C. The pressure in the CVD reactor attained 140-10 000 Pa. Other parameters of process were settled in a such way that the value of extended expression Grx/Rex2 was below 0,001. Chemical composition and microstructure of obtained layers were examined. This work s related to elaboration of new composite electrolyte for solid oxide fuel cells.