Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Modelowanie rozkładu energetycznego jonów w plazmie w. cz. przez dopasowanie teoretycznych profili poimplantacyjnych do profilu uzyskanego z pomiarów SIMS

Kalisz M., Beck R. B.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2008

|

Vol. 49, nr 9

37-40

PL

W artykule przedstawiona zostanie nowa metoda szacowania energii jonów i rozkładu ich gęstości w plazmie, podczas procesu trawienia plazmowego RIE w plazmie CF4. Metoda ta łączy w sobie eksperyment technologiczny z komputerowo przeprowadzoną symulacją procesu implantacji. W celu oszacowania energii jonów fluoru i rozkładu ich gęstości w plazmie, kształt profilu rozkładu jonów fluoru otrzymany z pomiaru SIMS porównany został z profilami rozkładu jonów fluoru otrzymanymi z procesu symulacji jego implantacji. Symulacja ta przeprowadzona została w programie SRIM. W wyniku przeprowadzonego procesu odwzorowywania, z dużej grupy energii implantacji otrzymanych z procesu symulacji, wybrane zostało pięć, które poprawnie odwzorowywują kształt profilu zmierzonego za pomocą SIMS. Na ich podstawie wyliczony został strumień jonów fluoru, biorących udział w procesie trawienia plazmowego RIE, przy zadanych jego parametrach.

EN

In this paper we present a novel method, which allows evaluation of these parameters basing on performed experiments, the results of their characterization and computer simulation. The method is shown on the example of RIE in CF4, during which fluorine ions are implanted into the substrate. In order to evaluate the ions parameters (concentration and energy distribution) the profiles determined by ULE-SIMS were then compared with fluorine profiles simulated by SRIM. In order to obtain good fitting to the experimental profile, several SRIM profiles for different ions energies had to be taken into account. This allowed for determination of fluxes of fluorine ions impinging the substrate surface and their energy distribution for the experimental conditions used in this study.

2

RF plasma surface hydrophobization of starch: differences between non-reactive and reactive gas treatment

Kaczmarek M., Gazicki-Lipman M., Klimek L., Szymanowski H.

Inżynieria Materiałowa

|

2004

|

R. XXV, nr 3

299-301

EN

Potato starch grains have been surface modified using radiofrequency plasma in order to enhance their hydrophobicity. Two procedures were applied for the purpose, one comprising a non-reactive gas treatment and the other utilising a reactive medium. While pure argon was used in the first case, a mixture of argon with tetramethylsilane constituted the reactive gas. The best result was obtained for the TMS/Ar plasma process, carried out under relatively mild energetic conditions. A comparison between the two processes allows one to draw a conclusion that both physical effects and chemical reactions are involved in the reactive gas tratment.

PL

W celu podwyższenia ich hydrofobowości, ziarna skrobi ziemniaczanej poddane zostały modyfikacji przy użyciu plazmy wysokiej częstotliwości. Zastosowano dwie metody, z których jedna wykorzystywała działanie gazu niereaktywnego, druga zaś posługiwała się medium reaktywnym. W pierwszym przypadku użyty był czysty argon, natomiast gaz reaktywny stanowiła mieszanina argonu z tetrametylosilanem. Najlepsze wyniki uzyskano dla procesów plazmowej modyfikacji skrobi przy użyciu mieszaniny TMS/Ar, prowadzonych przy stosunkowo niewielkich mocach wyładowania. Porównanie obydwu procesów pozwala wyciągnąć wniosek, że w przypadku reaktywnej mieszaniny gazów efekt końcowy stanowi wynik zarówno oddziaływań fizycznych jak i reakcji chemicznych.

3

Plazmowe wytwarzanie warstw nanokrystalicznego diamentu na narzędziach skrawających do materiałów drewnopochodnych

Niedzielski P., Grabarczyk J., Gołąbczak A., Zahalka P.

Zeszyty Naukowe. Mechanika / Akademia Techniczno-Rolnicza w Bydgoszczy

|

2000

|

Z. 46 (225)

119-126

PL

W pracy przedstawiono sposób wytwarzania warstw nanokrystalicznego diamentu (NCD) metodą plazmy wysokiej częstotliwości na narzędziach skrawających z węglików spiekanych do obróbki materiałów drewnopochodnych. Zaprezentowano wyniki badań potwierdzające przydatność wytwarzanych warstw NCD na narzędziach skrawających do zwiększania ich trwałości.

EN

The present paper presents a method of generation of nanocrystalline diamond coating (NCD) with the high frequency plasma spray in cutting tools with sintered carbide for wood-base materials. There presented the results of investigation into the applicability of the NCD coatings to increase the cutting tools lifetime.