Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: plasma surface engineering

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Optimization of gas injection conditions during deposition of AlN layers by novel reactive GIMS method

Zdunek K., Nowakowska-Langier K., Chodun R., Dora J., Okrasa S, Talik E.

Materials Science Poland

2014

Vol. 32, No. 2

171—175

In 2011, we proposed a novel magnetron sputtering method. It involved the use of pulsed injection of working gas for the initiation and control of gas discharge during reactive sputtering of an AlN layer (Gas Injection Magnetron Sputtering – GIMS). Unfortunately, the presence of Al–Al bonds was found in XPS spectra of the AlN layers deposited by GIMS onto Si substrate. Our studies reported in this paper proved that the synchronization of time duration of the pulses of both gas injection and applied voltage, resulted in the elimination of Al–Al bonds in the AlN layer material, which was confirmed by the XPS studies. In our opinion the most probable reason of Al–Al bonds in the AlN layers deposited by the GIMS was the self-sputtering of the Al target in the final stage of the pulsed discharge.

Materiałowe skutki zastosowania zaworu impulsowego w urządzeniu IPD

Zdunek K., Nowakowska-Langier K., Chodun R., Dora J.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2009

Vol. 50, nr 9

40-42

W pracy zaprezentowane zostały pierwsze wyniki obserwacji skutków materiałowych zastosowania zaworu impulsowego dozującego gaz do koaksjalnego akceleratora plazmy impulsowej w metodzie IPD. Wynika z nich, że produktem syntezy jest materiał warstwy zbudowany z nanokrystalicznych graniastych ziarn, co sugeruje heterogeniczny mechanizm zarodkowania.

In the paper were described the very first observations of the material effects of the impulse valve using for gas injection to the coaxial accelerator during the impulse plasma deposition. Coatings deposited in such conditions were nanocrystalline with grains morphology characteristic for coatings nucleated heterogenically on the substrate surface.