W celu ilościowego opisu zjawisk zachodzących przy udziale mikromechanicznej dźwigni piezorezystywnej istotna jest znajomość podstawowych jej parametrów metrologicznych takich jak: stała sprężystości, czułość dźwigni na zadane wychylenie, a także właściwości szumowe typu termicznego oraz 1/f. Opisano proces kalibracji dźwigni sprężystej z mostkiem piezorezystywnym jako detektorem ugięcia.
EN
To obtain quantitative information about interactions between the micromechanical cantilever and its surrounding, it is crucial to determine the principlal metrological cantilever parameters such as: spring constant, response sensitivity for certain deflection and noise properties. In this article a calibration process of the cantilever with integrated piezoresistive deflection detector is presented.
2
Dostęp do pełnego tekstu na zewnętrznej witrynie WWW
In the article we described the evolution of optical technology tram lens-type microscopes working in far-field to SNOM (Scanning Near-Field Optical Microscopy) constructions. We considered two systems elaborated in our laboratory, namely PSTM system (photon Scanning Tunelling Microscope) and SNOM system. In both systems we obtained subwavelength resolution. Same details about optical point probe technology in both systems are given and experimental results presented.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.