Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Zeszyty Naukowe Politechniki Świętokrzyskiej. Nauki Techniczne

1 2011

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: perowskit BaCeO3

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Wybrane problemy zastosowania techniki ablacji laserowej do wytwarzania cienkich warstw BaCeO3

Kopia A., Wójtowicz A., Suliga I., Drożdż P.

Zeszyty Naukowe Politechniki Świętokrzyskiej. Nauki Techniczne

2011

Z. 16

57-66

Przedmiotem badań były cienkie warstwy BaCeO3, które miały stanowić element przewodzący w piezorezystywnym czujniku gazu. Zakładane funkcje warstwy BaCeO3 skłaniały do zastosowania przy jej wytwarzaniu techniki ablacji laserowej. Próby wytwarzania warstw poprzedzono symulacją składu fazowego strugi wzbudzonej przez wiązkę laserową, w zmiennych warunkach temperaturowych, przy różnym składzie i ciśnieniu atmosfery w komorze ablacyjnej. Symulację przeprowadzono w programie FactSage™5.4.1, dla układu BaO-CeO2 i BaO-CeO2-Si. W pracy zastosowano oryginalną metodę oceny grubości warstw na podstawie efektów interferencyjnych.

Thin BaCeO3 layers were produced by the laser ablation technique on Si (100) substrate. Layers were deposited with the following parameters: temperature: T = 20, 500, 600, 700°C, type of atmosphere: vacuum or oxygen. The obtained layers were examined by the X-ray diffraction phase analysis in Bragg-Brentano geometry and by structural observation in a scanning electron microscope (SEM) with EDS analyses. Before laser ablation process we simulated the phase composition using FactSageTM5.4.1 program for system BaO-CeO2 and BaO-CeO2 -Si. In this paper we proposed the original methods for calculation the thickness of the layers using the interference effects.