Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2002

Powiadomienia systemowe

Sesja wygasła!

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: półprzewodniki miniaturowe

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Cienkie warstwy tlenków metali na podłożach ceramicznych LTCC jako mikrosensory gazów

Sutor A., Potempa P., Pisarkiewicz T., Maziarz W., Wójcik P.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2002

Vol. 43, nr 3

21-22

W pracy przedstawiono technologię i pomiary czułości sensorów wytworzonych z wykorzystaniem podłoży ceramicznych LTCC i cienkich warstw tlenków metali. Zmodyfikowana technologia struktur LTCC umożliwia uzyskanie gładkości wierzchniej warstwy ceramicznej nie gorszej niż 0.25 µm. Warstwa wierzchnia służyła jako podłoże w technologii nanoszenia cienkich warstw gazoczułych. Przedstawiono charakterystyki sensorów wytworzonych z wykorzystaniem tlenków SnO2 oraz In2O3 przy zmiennej koncentracji wodoru, alkoholu etylowego oraz ozonu w powietrzu. Pomiary przeprowadzono w warunkach regulowanej temperatury warstwy gazoczułej oraz zmiennej wilgotności powietrza. Osiągnięte rezultaty badań pozwalają sądzić, że połączenie technologii cienkowarstwowych z technologią LTCC może stworzyć możliwość produkcji miniaturowych półprzewodnikowych sensorów gazów o korzystnych parametrach.

Fabrication and measurements of sensitivity for sensors manufactured with using LTCC substrates and thin films of metal oxides are described. The modified technology of LTCC structures enabled obtaining of surface ceramic layer with roughness not worse than 0.25 µm. The surface layer served as substrate in the technology of thin film gas sensitive layers. Characteristics of the sensors utilizing SnO2 and In2O3 oxides for varying concentrations of hydrogen, ethanol and ozone in air are given. The measurements were performed for controlled temperature of the sensitive layer in conditions of varied air humidity. The obtained results indicate, that combinations of thin film and LTCC technologies can lead to the production of miniature semiconductor gas sensors with optimized parameters.