Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2004

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: optyczne metody badań

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Active microelements testing by interferometer using pulse microlaser

Sałbut L., Styk A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2004

Vol. 45, nr 8-9

233-236

Increasing applications of active microelements (incl. micromembranes and micromirrors) introduce unprecedented requirements concerning their design and testing. The paper presents a concept of optical measurement system and methodology for out-of-plane displacement testing of such active microelements. The system is based on Twyman-Green microinterferometer working with a pulse microlaser. It gives the possibility to combine capabilities of stroboscopic and pulse interferometry methods for determination of dynamic behaviour of active microelements, especially vibration amplitude and phase analysis. In the paper special attention is given to the problem of influence of microlaser pulse parameters on the testing capabilities of the interferometric system. The exemplary results of measurements performed on micromembrane with active PZT layer and micromirror activated electrostatically are presented.

Rosnący zakres zastosowań mikroelementów aktywnych (m.in. mikromembran i mikrozwierciadeł) powoduje wzrost wymagań dotyczących ich konstruowania i badań. W artykule prezentowany jest interferometryczny system pomiarowy oraz metodyka badań przemieszczeń pozapłaszczyznowych mikroelementów. System bazuje na konfiguracji Twymana-Greena z wykorzystaniem mikrolasera impulsowego. Stwarza to możliwość zastosowania technik stroboskopowych i impulsowych do badania amplitudy i fazy drgających mikroelementów aktywnych. Dużą uwagę poświęcono analizie wpływu parametrów impulsu na wynik pomiaru. Przedstawiono przykładowe wyniki badań mikromembrany z aktywną warstwą PZT oraz mikrozwierciadła pobudzanego elektrostatycznie.