Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 16

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
Wyszukiwano:
w słowach kluczowych:  optical emission spectroscopy
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
EN
In Kosovo, the supply of potable water from water sources is represented by about 40%. This study represents the geochemical analyses of sediments, spatial and statistical analyses of major elements in sediments (fraction <63 µm) of water sources in the Drini i Bardhë River basin. For a better understanding of the geochemical consistency of sediments, inductively coupled plasma-mass spectrometry (ICP-MS) was used and the amounts of P and S were determined by inductively coupled plasma-optical emission spectrometry (ICP-OES). By comparing the concentrations of Ba, Se, and P with the existing criteria, it was found that 26 of 50 sample points exceed recommended norms, which cause low/significant toxic effects and 23 of 50 sample points include anomalies of the analyzed elements. In terms of statistical interpretation, the average concentration of the studied elements decreased in such order: Ca > Al > Mg > K > S > P > Na > Ba > Sr > Li > Rb > B > Ga > Cs > Be > Se. In terms of correlation analyses, elements such as Li, Be, Mg, P, and Ba did not show a significant positive correlation with any element. Cluster analysis of R-modality shows a branch of dendrogram linked with Ca, Al, Mg, S, K, P, Na, Ba, Sr, Cs, B, Ga, Se, Be, Rb, and Li. Spatial distribution maps of major elements show that high concentrations of Li, Ca, and Ba were located mostly in the northern part, high concentrations of B, Na, Mg, Sr, and Cs were located in the north-east part, high concentrations of Be and Al were located in the north and south part and high concentrations of P, S, K and Rb were located mostly in the south-east part of the catchment basin. This high concentration of elements is impacted by the lithology of rocks and by the minor influence of human activity (the case of P).
EN
In this paper, results of optical emission spectroscopy OES study of plasma generated in waveguide-supplied plasma-sheet microwave (2.45 GHz) plasma source (MPS)are presented. The plasma gas temperature inferred from rotational temperature of heavy species (assumed to be close to gas temperature) ranged from 800 up to 1300 K and the electron number density ranged from 3.3 * 1014 up to 6.1 * 1014 cm-3. Moderate plasma gas temperature as well as high electron density makes presented plasma device attractive tool for different surface treatment.
PL
W tej pracy prezentujemy wyniki spektroskopowych badań plazmy wytwarzanej przez mikrofalowe (2,45 GHz), zasilane falowodowo, źródło płaszczyzny plazmowej. Temperatura cząstek ciężkich gazu (zakłada się, że jest ona bliska temperaturze gazu) wynosiła od 800 do 1300K natomiast koncentracja elektronów wahała się od 3.3 * 1014 do 6.1 * 1014 cm-3. Umiarkowana temperatura gazu oraz wysoka koncentracja elektronów czyni z prezentowanego urządzenia atrakcyjne narzędzie obróbki różnorakich powierzchni.
EN
Numerous attempts to improve hardness and wear resistance of austenitic stainless steel by nitriding led to identification of so called S-phase (expanded austenite). Currently S-phase is obtained not only by nitriding of steel but also by physical vapour deposition (PVD). The aim of present work was to verify whether the magnetron sputter deposition process of the S-phase layers from 316L steel target can be monitored with the use of plasma optical emission spectroscopy (OES). Specific atomic emission lines of steel target and gas atmosphere components were chosen and analyzed. A series of deposition processes as well as samples characterization was performed. The atomic chromium emission line at 520.8 nm has been selected and proven to be sensitive to the 316L target poisoning process and thus appropriate for deposition process monitoring.
PL
Liczne próby zwiększenia twardości oraz odporności na zużycie ścierne austenitycznych stali nierdzewnych doprowadziły do identyfikacji tak zwanej fazy S (austenitu rozszerzonego). Aktualnie fazę tę na powierzchni stali uzyskuje się nie tylko na drodze azotowania, ale również metodami PVD. Celem pracy było zweryfikowanie, czy proces nanoszenia warstw fazy S za pomocą rozpylania magnetronowego targetu ze stali 316L może być monitorowany z wykorzystaniem optycznej spektroskopii emisyjnej (OSE) plazmy procesowej. Wybrano i przeanalizowano szereg linii emisyjnych zarówno materiału źródła, jak i atmosfery gazowej. Przeprowadzono procesy nanoszenia warstw fazy S oraz przebadano ich skład chemiczny oraz fazowy. Wytypowano atomową emisyjną linię chromu (520,8 nm) jako czułą na zatruwanie źródła i użyteczną z punktu widzenia monitorowania procesu nanoszenia.
EN
A novel miniature plasma generator made of low temperature co-fired ceramics (LTCC) is presented in this paper. The developed generator is composed of a stack of 9 ceramic tapes, has an optical fibre integrated into the structure and is consisted of an 8.7 x 3.5 mm2 plasma chamber placed between two 5 x 5 mm2 electrodes made of AgPd. Each electrode is separated from the plasma chamber by a single LTCC tape, forming a 660 μm thick gap. The shape of the plasma chamber and the channel for the optical fibre were cut in green LTCC tapes using an UV laser, and the electrodes were fabricated with the standard screen-print method. During the experiments, the plasma chamber was filled with an ambient air. The plasma was generated between AgPd electrodes connected to an AC power supply. The light of the air plasma was transmitted from the plasma chamber to the miniature spectrometer using the integrated optical fibre. The glow discharge in the air at atmospheric pressure was characterized by optical emission spectroscopy (OES).
PL
W artykule przedstawiono technologię miniaturowego generatora plazmy. Wspomniany układ został wykonany za pomocą techniki bazującej na niskotemperaturowej współwypalanej ceramice LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics). Urządzenie składało się z 9 warstw ceramiki LTCC. W skład opracowanego generatora wchodziły komora plazmowa o wymiarach 8,7 x 3,5 mm2 oraz dołączony do niej światłowód kwarcowy. Komora plazmowa umieszczona była pomiędzy dwiema elektrodami o wymiarach 5 x 5 mm2 wykonanymi ze stopu PdAg. Każda z elektrod została odizolowana od komory plazmowej za pomocą pojedynczej warstwy LTCC tworząc szczelinę o grubości 660 μm. Kształt komory plazmowej oraz kanału pod światłowód zostały wycięte w surowych foliach ceramicznych za pomocą lasera UV. Elektrody PdAg zostały naniesione na ceramikę LTCC metodą sitodruku. Podczas eksperymentów komora plazmowa wypełniona była powietrzem z otoczenia o ciśnieniu atmosferycznym. Plazma powietrza generowana była pomiędzy dwiema izolowanymi elektrodami zasilanymi napięciem zmiennym. Promieniowanie optyczne plazmy powietrza było transmitowane z komory plazmowej do miniaturowego spektrometru za pomocą zintegrowanego światłowodu. Obserwowane wyładowanie jarzeniowe w powietrzu analizowano metodą optycznej spektroskopii emisyjnej (OES).
PL
Artykuł podejmuje tematykę budowy systemu pomiarowego do dynamicznej spektroskopii optycznego widma emisyjnego plazmy (ang. Time-Resolved Optical Emission Spectroscopy - TR-OES). Przedstawione rozwiązanie projektowano pod kątem zastosowania tego układu do diagnostyki plazmy wyładowania jarzeniowego wytwarzanego przez magnetronowy układ rozpylający zasilany impulsowo. W artykule omówiono zasadę działania, nakreślono podstawy konstrukcji oraz przedstawiono przykładowe wyniki zarejestrowane przy użyciu zaproponowanego rozwiązania.
EN
The article discusses the construction of measurement system for Time Resolved Optical Emission Spectroscopy (TR-OES). The described solution was designed in terms of its application for diagnostics of glow discharge plasma in a pulsed magnetron sputtering deposition system. This article discusses the principle of operation, outlines the basis of the electronic circuitry design, shows sample results obtained using the proposed solution.
PL
Zawartość wtrąceń różnego typu ma znaczący wpływ na własności metali i stopów metali. Efektywna kontrola zawartości wtrąceń w metalach i stopach metali na różnych etapach wytwarzania wpływa korzystnie na ich jakość oraz powoduje zmniejszenie kosztów produkcji.
EN
The optical spectroscopy in the visible range was used to determine properties of the dense magnetized plasma generated in the PF-1000, a 1 MJ plasma focus device operating in the Institute of Plasma Physics and Laser Microfusion (IPPLM) in Warsaw, Poland. The experiments were performed in a vacuum chamber pumped out to the basic pressure of 2 x 10.5 hPa. The initial pressure of the pure deuterium filling was 2.9 hPa, while that of the deuterium--argon mixture was 1.07 hPa of D2 and 0.13 hPa of Ar. The deuterium-plasma emission contained the Balmer series (Dalfa, Dbeta and Dgamma) and a few distinct copper (Cu I) lines originating from the inner electrode material. The emission of the deuterium-argon plasma was rich in Ar II lines. The electron density (ne), averaged over line of sight, of order of 1016 cm.3 was calculated on the basis of the Dalfa and Dbeta emission only, because the D�ż line was strongly self-absorbed. A group of the Ar II spectral lines was used to estimate the excitation temperature (Texc = 3 eV) by means of a Boltzmann plot. Additionally, the temporal evolution of the electron density was determined on basis of the Stark broadening of the Dalfa and Dgamma lines.
EN
The principal availability of a high enthalpy ground test facility for the simulation of atmospheric entry into a martian atmosphere based on a CO2 plasma is shown. The plasma is characterized using both the heat flux and pressure probe techniques. Two different approaches to determine local enthalpies are presented. Results of the plasma characterization using Optical Emission Spectroscopy (OES) are presented and a quantitative comparison of the measurement results, with numerically simulated spectra using the PARADE database, are analysed. In order to create a data basis for further improvement and validation of radiation codes for Mars entry scenarios, emission spectroscopic measurements have been performed. The first qualitative comparison of the measurement data from the 21 MJ/kg condition with numerically created CO2 spectra has been used to identify the radiating species. Atomic oxygen and atomic carbon could clearly be identified, also there is evidence of oxygen and carbon ions. From the molecule-based radiation, C2 Swan and CO 3rd Pos. as well as the CO+ 1st. Neg. systems could be identified and showed a fairly good agreement with the PARADE data. The CO+ Comet Tail system has been added very recently in PARADE and it is shown within this paper that it contributed significantly to the measured radiation.
EN
The thermodynamic state of subsonic air plasma jet, produced by VKI Plasmatron operating at 500 kW and 16 g.s-¹, in the pressure range 100-300 mbar, is investigated by means of optical emission spectroscopy diagnostics. The N and O atomic lines were recorded, in the visible spectral range at resolution of 0.066 nm, at 16 cm away from the outlet into the test chamber. The temperatures obtained assuming Local Thermodynamic Equilibrium (LTE) and only thermal equilibrium were found to agree quite well, indicating that the plasma is close to thermal equilibrium at temperature of about 10000 K. However electron densities, determined starting from Hβ line broadening measured on initial air mixture seeded with a small amount of water, were found to be about 1021 m-³, slightly lower than the densities calculated at LTE, similarly to plasma undergoing recombination.
10
PL
Przedstawiono prototyp optoelektronicznego systemu do monitorowania in-situ procesu CVD, wspomaganych plazmą mikrofalową. System składa się z układu optycznej spektroskopii emisyjnej OES oraz specjalizowanego spektroskopu ramanowskiego RS. Umożliwia on równoczesne monito-rowanie składu plazmy oraz określanie dynamiki wzrostu i zawartości defektów warstwy. Przedstawiono wyniki badań przebiegu procesu wytwarzania warstw diamentopodobnych DLC. Wyniki monitorowania mogą być wykorzystywane do sterowania procesem.
EN
Prototype of optoelectronic monitoring system dedicated for in-situ diagnostics of microwave plasma assisted CVD processes was presented in this paper. The system uses optical emission spectroscopy OES and long-working-distance Raman spectroscopy RS. Such an approach enables simultaneous investigations of particle composition of the plasma and nucleation processes in the growing layer (growth ratio, phase defects). Thus, correlation between process parameters, plasma composition and layer quality can be determined. Results of investigation carried out for thin diamond-like-carbon DLC films synthesis process were presented. Obtained results can be used for efficient control of CVD process.
EN
The erosion of the ceramics made of Al2O3 of the SPT20 Hall effect thruster manufactured by the National Aerospace University "KhAI", has been studied by an optical method. The ratio of Al I, Xe I, Xe II emission lines was analysed using actinometry and coronal assumptions. The erosion rate of the ceramics has been evaluated for different operating conditions for the thrusters.
PL
W artykule przedstawiono optoelektroniczny system do diagnostyki in-situ plazmowych procesów CVD, do wytwarzacienkich warstw diamentopodobnych. W systemie zastosowano rzestrzenną optyczną spektroskopię emisyjną SR-OES i spektroskopię ramanowską. Pozwala to na jednoczesne badanie rozkładu cząstek w plazmie i parametrów rosnącej warstwy. Opisano konstrukcję systemów pomiarowych, sprzegniętych z komorą CVD za pomocą dedykowanych torów światłowodowych. Zaprezentowano wyniki prac eksperymentalnych i interpretację danych pomiarowych.
EN
Optoelectronic system dedicated for in-situ diagnostics of plasma assisted CVD processes is presented in this paper. The system uses spatially resolved optical emission spectroscopy OES and Raman spectroscopy. Such an approach enables simultaneous investigations of particle composition of the plasma and performance of the growing layer. Design of measurement systems coupled with CVD chamber by dedicated fiber-optic paths is described. Results of experimental works are presented and analysis of obtained data is given.
PL
Porównywano parametry wyładowania jarzeniowego podczas stałoprądowych i impulsowych procesów rozpylania przy dużych gęstościach mocy wydzielanej w targecie. Rozpylano target Cu średnicy 50 mm i grubości początkowej 8 mm. Parametry wyładowania jarzeniowego badano metodą OES w zakresie długości fal 400...410 nm. Celem badań było określenie roli jonów Cu (404,3 nm) podczas procesu rozpylania magnetronowego. Przy zasilaniu stałoprądowym magnetronu, wraz ze zwiększaniem mocy targetu, obserwowano wzrost relacji Cu⁺/Cu*. Dla wartości Cu⁺/Cu*≥ 0,85 możliwe było prowadzenie procesu tzw. autorozpylania. Podczas rozpylania impulsowego stosunek Cu⁺/Cu* osiągał wartość porównywalną z obserwowaną w procesie rozpylania stałoprądowego dużej mocy. Mimo obecności zjawiska autorozpylania, niemożliwe było otrzymywanie warstw metodą impulsowego autorozpylania.
EN
The medium frequency magnetron plasma characteristics have been studied at relatively high target powers. The results have been compared with continuous dc discharge parameters. Planar magnetron source operated with a Cu target (50 mm in diameter, 8 mm in thickness). Continuous direct current and medium frequency pulsed sputtering discharge was studied by means of Optical Emission Spectroscopy in the 400...410 nm wavelength range. The emission results shown to be dominated by emission from metal ions (Cu⁺ 404.3 nm) at relatively high dc target power densities. Then the self-sustained magnetron-sputtering mode was observed. The emission spectra of the pulsed discharge supplied at all range of target powers showed the relation of copper ion lines' intensity to copper neutral lines' intensity comparable with those ones obtained for dc discharge of magnetron working at high target power densities. There was no possibility to carry out self-sustained sputtering mode using pulsing discharge.
PL
Zastosowano optyczną spektroskopię emisyjną do badania w trybie in-situ dysocjacji cząsteczek oraz wzbudzenia i jonizacji atomów wodoru podczas procesu syntezy cienkich warstw diamentowych metodą chemicznego osadzania par gazowych, wspomaganego plazmą mikrofalową (uPACVD).Tor światłowodowy umożliwia sprzęgnięcie komory CVD z systemem spektroskopowym i wykonywanie pomiarów bezinwazyjnych. Wykonano pomiary spektralne w zakresie światła widzialnego - bliskiej podczerwieni i zbadano zależność natężenia linii serii Balmera od parametrów procesu technologicznego.
EN
Optical Emission Spectroscopy (OES) was applied to in-situ investigation of hydrogen exciatation and ionization degree during Microwave Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition (uPACVD) of thin diamond films. Fibre optic coupling between CVD chamber and spectroscopic system enables remote, non-invasive process monitoring. Authors made measurements in VIS-near UV range, thus investigating intensity of hydrogen lines assigned to Balmer serie as a function of CVD pocess parameters.
PL
Węgliki molibdenu charakteryzujące się wysoką twardością, badane są pod kątem ich zastosowania na pokrycia antyzużyciowe części maszyn i mechanizmów. Cienkie warstwy MoCx nanoszono metodą reaktywnego, impulsowego rozpylania magnetronowego. Proces nanoszenia kontrolowano metodą spektroskopii emisyjnej plazmy procesowej, śledząc wybrane atomowe linie emisyjne molibdenu. W pracy przedstawione zostały wyniki badań rentgenowskich oraz XPS, pomiarów mikrotwardości, przewodnictwa elektrycznego i adhezji warstw nanoszonych na ulepszane cieplnie podłoża ze stali 4H13 i podłoża alundowe oraz rezultaty badań tribologicznych prowadzonych w układzie kula-płaszczyzna, zarówno w temperaturze pokojowej, jak i w wysokich temperaturach (do 400 stopni Celsjusza) w atmosferze powietrza o normalnej wilgotności. Stwierdzono, że najlepsze właściwości tribologiczne wykazują warstwy mające charakter nanokompozytu złożonego z wydzieleń węglika molibdenu w matrycy amorficznego uwodornionego węgla.
EN
Molybdenum carbides possessing high hardness are studied in the context of their tribological properties. Thin films of MoCx were deposited on steel (4H13) and alumina substrates by reactive magnetron sputtering controlled by optical emission spectroscopy method. Structure and phase composition of deposits were studied by means of X-ray diffractometry and XPS. Results of microhardness and electrical conductivity are shown, respectively. Tests of dry friction in air of normal humidity were carried out in ball-on-disc configuration in the temperature range 20-400 degrees centigrade. Tribological behaviour of studied was discussed in terms of processes occuring at the surface of the coating during high temperature tests. The best results were found for nanocomposite coatings containing nanocrystalline molybdenum carbide embedded in the matrix of amorphous, hydrogenated carbon.
PL
W ostatnich latach wzrasta zainteresowanie cienkimi warstwami zawierającymi atomy germanu. Cenne właściwości, jak i łatwość plazmowego procesu nakładania powodują gwałtowny rozwój badań tych materiałów. Prezentowana praca zawiera skrót wyników badań prowadzonych przez naszą grupę w ciągu ostatnich kilku lat. Badania te prowadzone były w dwóch kierunkach: 1 - badania mechanizmu nakładania, wyjaśnienia reakcji chemicznych zachodzących w wyładowaniu, powiązaniu mechanizmu procesu z warunkami jego prowadzenia; 2 - badania struktury cienkich warstw, wyjaśnienie ich budowy chemicznej w zależności od warunków powstawania. Zastosowano nowoczesne techniki badawcze. Spektrometria masowa i emisyjna spektroskopia optyczna jako jedne z nielicznych technik umożliwiły prowadzenie badań w trakcie procesu nakładania. Badania FTIR oraz rezonansu magnetycznego ciała stałego C13 pozwoliły na zbadanie struktury chemicznej otrzymanych warstw.
EN
Optical emission spectroscopy (OES) and quadrupole mass spectrometry (QMS) have been applied to the characterization of RF plasma of organogermanium used for the deposition of a-GexCy:H films. QMS analysis show that under low power input condition, the gas phase consists primarily of monomer molecules and their largest fragments. In contrast, at high power input tetraethylgermanium undergoes nearly complete fragmentation forming atomic germanium, atomic and molecular hydrogen, and a number of hydrocarbon species. A dramatic increase of molecular hydrogen concentration with the increasing RF power is confirmed by OES actinometric measurements. Fourier transform infrared spectroscopy of a series carbon-germanium films are presented. It is shows that IR absorption of the films varies dramatically depending on the RF power. Various C-H bands as well as strong Ge-O absorption are characteristic for samples produced at low power. Films deposited at hogh RF power conditions are characterized by a lack of Ge-O signals, considerable Ge-H absorption and substantial broadening of all bands.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.