Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Wpływ wysokotemperaturowego wygrzewania na właściwości cienkich warstw TiO₂ wytworzonych metodą rozpylania magnetronowego

Mazur M., Wojcieszak D., Obstarczyk A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2018

|

Vol. 59, nr 7

10--13

PL

W pracy przedstawiono wyniki badania wpływu wygrzewania wysokotemperaturowego cienkich warstw TiO₂ na ich właściwości strukturalne, optyczne oraz trybologiczne. Cienkie warstwy TiO₂ zostały wytworzone w ciągłym oraz sekwencyjnym procesie rozpylania magnetronowego. Wygrzewanie wysokotemperaturowe miało znaczący wpływ na zmianę struktury cienkich warstw z fazy anatazu na mieszaninę anatazu i rutylu. Ponadto wygrzewanie poprocesowe spowodowało znaczny spadek współczynników transmisji światła w obu przypadkach z 80% do 50%. Zaobserwowano także przesunięcie długości fali odcięcia w kierunku podczerwieni o około 20÷25 nm. Badania przedstawione w pracy pokazały, że twardość również się zmniejsza z 10 GPa dla warstw po naniesieniu do zaledwie 3 GPa (proces ciągły) oraz 6,2 GPa (proces sekwencyjny).

EN

This paper provides research investigation results and analysis of influence of the high-temperature annealing on the structural, optical and tribological properties of TiO₂ thin film coatings. Thin-film coatings were deposited in continuous and sequential processes using multi-magnetron sputtering stand. High-temperature annealing had a significant effect on the change of the structure of thin film coatings from the anatase to the mixture of anatase and rutile phase. In addition, post-process annealing caused a significant decrease of the transparency level in both cases from 80% to 50%. It was also observed that λcut-off was shifted towards the infrared wavelength range of ca. 20÷25 nm. Research on tribological properties shown that hardness decreases from 10 GPa for as-deposited thin films to 3 GPa (deposited in continuous process) and 6.2 GPa (deposited in sequential process) for annealed coatings.

2

Wpływ składu materiałowego cienkich warstw HfO2-TiO2 na ich właściwości strukturalne oraz optyczne

Poniedziałek A., Mazur M., Górnicka B., Pierściński R., Karpiński M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2016

|

Vol. 57, nr 7

6--8

PL

W pracy przedstawiono wyniki badania wpływu składu materiałowego cienkich warstw TiO2-HfO2 na ich właściwości strukturalne oraz optyczne. Cienkie warstwy tlenków TiO22 oraz ich mieszanin zostały wytworzone za pomocą rozpylania magnetronowego. Zmiana składu materiałowego cienkich warstw miała znaczący wpływ na właściwości strukturalne, powierzchni oraz optyczne. Wytworzone cienkie warstwy z wyjątkiem (Hf0.55Ti0.45)Ox były nanokrystaliczne o średnim rozmiarze krystalitów około 7-11 nm. Obrazy otrzymane przy użyciu skaningowego mikroskopu elektronowego potwierdziły, że cienkie warstwy zbudowane były z ziaren o różnych kształtach oraz rozmiarach z wyjątkiem powłoki, która w mieszaninie miała największą ilość domieszki Ti. Badania przedstawione w pracy pokazały zmianę współczynnika transmisji światła wraz ze wzrostem zawartości TiO2 w mieszaninach. Zaobserwowano także przesunięcie długości fali odcięcia w stronę fal dłuższych oraz wzrost wartości współczynnika załamania światła.

EN

This paper provides research investigation results and analysis of various properties of thin films based on TiO2-HfO2 composites. Thin-film coatings were deposited using multitarget magnetron sputtering stand. Several sets of thin films, including undoped HfO2, TiO2 and their composites, were prepared and their structural and optical properties were discussed. Structural properties were analyzed using results obtained by x-ray diffraction method. In turn, optical properties were evaluated based on the transmission spectra of deposited thin films. It was found that material composition of prepared coatings has an impact on their various properties. Undoped coatings and thin films with lower content of titanium were nanocrystalline, while (Hf0.55Ti0.45)Ox was amorphous. Research on optical properties has shown that transmission of the light of deposited thin films changed with the increase of TiO2 content. It was also observed that Icut-off was shifted towards higher wavelength range and refractive index increased with larger amount of titanium in prepared thin films.

3

Characterization of optical and electrical properties of transparent conductive boron-doped diamond thin films grown on fused silica

Bogdanowicz R.

Metrology and Measurement Systems

|

2014

|

Vol. 21, nr 4

685--698

EN

Abstract A conductive boron-doped diamond (BDD) grown on a fused silica/quartz has been investigated. Diamond thin films were deposited by the microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MW PECVD). The main parameters of the BDD synthesis, i.e. the methane admixture and the substrate temperature were investigated in detail. Preliminary studies of optical properties were performed to qualify an optimal CVD synthesis and film parameters for optical sensing applications. The SEM micro-images showed the homogenous, continuous and polycrystalline surface morphology; the mean grain size was within the range of 100-250 nm. The fabricated conductive boron-doped diamond thin films displayed the resistivity below 500 mOhm cm-1 and the transmittance over 50% in the VIS-NIR wavelength range. The studies of optical constants were performed using the spectroscopic ellipsometry for the wavelength range between 260 and 820 nm. A detailed error analysis of the ellipsometric system and optical modelling estimation has been provided. The refractive index values at the 550 nm wavelength were high and varied between 2.24 and 2.35 depending on the percentage content of methane and the temperature of deposition.

4

Design technique for all-dielectric non-polarizing beam splitter plate

Rizea A.

Opto-Electronics Review

|

2012

|

Vol. 20, No. 1

96-99

EN

There are many situations when, for the proper working, an opto-electronic device requiring optical components does not change the polarization state of light after a reflection, splitting or filtering. In this paper, a design for a non-polarizing beam splitter plate is proposed. Based on certain optical properties of homogeneous dielectric materials we will establish a reliable thin film package formula, excellent for the start of optimization to obtain a 20-nm bandwidth non-polarizing beam splitter.