Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Zeszyty Naukowe Akademii Morskiej w Gdyni

1 2012

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: oprogramowanie Comsol Multiphysics

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Rozkłady pola elektrycznego wewnątrz mikrofalowego źródła plazmy (MŹP) typu komora rezonansowa zasilana falowodowo

Nowakowska H., Mizeraczyk J.

Zeszyty Naukowe Akademii Morskiej w Gdyni

2012

nr 75

124--136

W artykule przeprowadzono analizę numeryczną właściwości elektrodynamicznych mikrofalowego źródła plazmy typu komora rezonansowa zasilana falowodowo, przeznaczonego do plazmowej obróbki gazów. Zbadano wpływ odległości między elektrodami i przenikalności elektrycznej dielektryka wypełniającego komorę na wartości częstotliwości rezonansowych i rozkłady pola elektromagnetycznego odpowiadające dwóm najniższym rezonansowym. Ponadto zbadano wpływ parametrów plazmy (unormowana koncentracja elektronów i unormowana częstość zderzeń elektronu) na rozkłady pola elektrycznego wewnątrz komory przy pobudzeniu falą o częstotliwości 2,45 GHz. Obliczenia wykonano za pomocą oprogramowania Comsol Multiphysics.

In this paper electric field distributions of a waveguide-fed resonant-chamber-type microwave plasma source are determined numerically solving the wave equation using commercial software. Dependence of the resonant frequencies for different electrodes gap widths and the dielectric insert electric permittivity values is examined. Influence of plasma parameters on electric field distributions inside the MPS is analyzed.